Оптическая диагностика высококачественной и СВЧ-плазмы

מידע ביבליוגרפי
Parent link:	Наукоемкие технологии: научно-технический журнал.— , 2001- № 2.— 2003.— С. 58-66
מחבר ראשי:	Марин В. П.
מחברים אחרים:	Вагин Л. Н.
שפה:	רוסית
יצא לאור:	2003
סדרה:	Технологии контроля качества и надежности катодных материалов
נושאים:	оптическая диагностика СВЧ-плазма определение параметров заряженные частицы концентрация аргон ионизация эксперимент измерение
פורמט:	Book Chapter
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=385399

תיאור
תיאור לא זמין.

פריטים דומים