|
|
|
|
| LEADER |
00000nam0a2200000 4500 |
| 001 |
38195 |
| 005 |
20231031005134.0 |
| 010 |
|
|
|a 5256006991
|
| 035 |
|
|
|a (RuTPU)RU\TPU\book\38869
|
| 090 |
|
|
|a 38195
|
| 100 |
|
|
|a 20020222d1991 km y0rusy50 ca
|
| 101 |
0 |
|
|a rus
|
| 102 |
|
|
|a RU
|
| 105 |
|
|
|a a g 001zy
|
| 200 |
1 |
|
|a Технология микроэлектронных устройств
|e справочник
|f З. Ю. Готра
|
| 210 |
|
|
|a Москва
|c Радио и связь
|d 1991
|
| 215 |
|
|
|a 527 с.
|c ил.
|
| 320 |
|
|
|a Библиогр.: с. 526.
|
| 606 |
1 |
|
|a Микроэлектроника
|x Производство
|2 stltpush
|3 (RuTPU)RU\TPU\subj\43813
|
| 610 |
1 |
|
|a устройства
|
| 610 |
1 |
|
|a аппаратура
|
| 610 |
1 |
|
|a производство
|
| 610 |
1 |
|
|a монокристаллические материалы
|
| 610 |
1 |
|
|a полупроводниковые материалы
|
| 610 |
1 |
|
|a диффузия
|
| 610 |
1 |
|
|a эпитаксиальные слои
|
| 610 |
1 |
|
|a ионная имплантация
|
| 610 |
1 |
|
|a тонкие пленки
|
| 610 |
1 |
|
|a фотолитография
|
| 610 |
1 |
|
|a сборка
|
| 610 |
1 |
|
|a герметизация
|
| 610 |
1 |
|
|a справочники
|
| 675 |
|
|
|a 621.382.049.77.002(035)
|v 3
|
| 700 |
|
1 |
|a Готра
|b З. Ю.
|g Зенон Юрьевич
|
| 801 |
|
1 |
|a RU
|b 63413507
|c 20020222
|g PSBO
|
| 801 |
|
2 |
|a RU
|b 63413507
|c 20211206
|g PSBO
|
| 942 |
|
|
|c BK
|
