Технология микроэлектронных устройств: справочник

Bibliographic Details
Main Author:	Готра З. Ю. Зенон Юрьевич
Language:	Russian
Published:	Москва, Радио и связь, 1991
Subjects:	Микроэлектроника > Производство устройства аппаратура производство монокристаллические материалы полупроводниковые материалы диффузия эпитаксиальные слои ионная имплантация тонкие пленки фотолитография сборка герметизация справочники
Format:	Book
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=38195

Similar Items