Микроэлектроника научный журнал

Бібліографічні деталі
Резюме:	С 2012 г. журнал представлен в электронном виде
Мова:	Російська
Опубліковано:	Москва, Наука, 1973-
Предмети:	наноэлектроника микроэлектроника литография плазменные технологии эпитаксия пучковые технологии многослойные структуры низкотемпературная плазма нанометрология
Онлайн доступ:	http://www.ftian.ru/journals/mikelek/ https://elibrary.ru/title_about.asp?id=7900
Формат:	Електронний ресурс Книга
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=380565

Інтернет