Микроэлектроника: научный журнал

Bibliographic Details
Corporate Author:	Российская академия наук (РАН)
Summary:	С 2012 г. журнал представлен в электронном виде
Language:	Russian
Published:	Москва, Наука, 1973-
Subjects:	наноэлектроника микроэлектроника литография плазменные технологии эпитаксия пучковые технологии многослойные структуры низкотемпературная плазма нанометрология
Online Access:	http://www.ftian.ru/journals/mikelek/ https://elibrary.ru/title_about.asp?id=7900
Format:	Electronic Book
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=380565

Internet