Микроэлектроника, научный журнал

Xehetasun bibliografikoak
Erakunde egilea:	Российская академия наук (РАН)
Gaia:	С 2012 г. журнал представлен в электронном виде
Hizkuntza:	errusiera
Argitaratua:	Москва, Наука, 1973-
Gaiak:	наноэлектроника микроэлектроника литография плазменные технологии эпитаксия пучковые технологии многослойные структуры низкотемпературная плазма нанометрология
Sarrera elektronikoa:	http://www.ftian.ru/journals/mikelek/ https://elibrary.ru/title_about.asp?id=7900
Formatua:	Baliabide elektronikoa Liburua
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=380565

Internet