Микроэлектроника: научный журнал

Микроэлектроника, научный журнал

Manylion Llyfryddiaeth
Awdur Corfforaethol:	Российская академия наук (РАН)
Crynodeb:	С 2012 г. журнал представлен в электронном виде
Iaith:	Rwseg
Cyhoeddwyd:	Москва, Наука, 1973-
Pynciau:	наноэлектроника микроэлектроника литография плазменные технологии эпитаксия пучковые технологии многослойные структуры низкотемпературная плазма нанометрология
Mynediad Ar-lein:	http://www.ftian.ru/journals/mikelek/ https://elibrary.ru/title_about.asp?id=7900
Fformat:	Electronig Llyfr
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=380565

Eitemau Tebyg

Элементы и устройства наноэлектроники учебное пособие
gan: Сергеев В. А.
Cyhoeddwyd: (Ульяновск, УлГТУ, 2016)

Системы на основе квантовых фильтров для визуально-оптической диагностики быстропротекающих процессов; Инновации в неразрушающем контроле (SibTest 2017)
gan: Тригуб М. В. Максим Викторович
Cyhoeddwyd: (2017)

Цифровая микроэлектроника Учебное пособие
gan: Дыбко М.А. Максим Александрович
Cyhoeddwyd: (Новосибирск, Новосибирский государственный технический университет (НГТУ), 2019)

Микроэлектроника и схемотехника Учебник
gan: Параскевов А.В. Александр Владимирович
Cyhoeddwyd: (Вологда, Инфра-Инженерия, 2023)

Кристаллические структуры в пылевой плазме; Энергия: экономика, техника, экология; № 2
gan: Фортов В. Е.
Cyhoeddwyd: (2003)

Основы технологии электронной компонентной базы учебное пособие
gan: Архипов А. В.
Cyhoeddwyd: (Самара, Самарский университет, 2022)

Многоволновые процессы в физике плазмы
gan: Куклин В. М. Владимир Михайлович
Cyhoeddwyd: (Душанбе, Дониш, 1989)

Ионно-плазменная обработка материалов: курс лекций
gan: Кузнецов Г. Д. Геннадий Дмитриевич
Cyhoeddwyd: (Москва, Изд-во МИСиС, 2008)

Электроэкстракционно-плазменная технология очистки и переработки руд, содержащих редкоземельные элементы; Изотопы: технологии, материалы и применение
gan: Головков Н. И.
Cyhoeddwyd: (2020)

Исследование процесса десублимации углерода в низкотемпературной плазме, находящейся в магнитном поле; Изотопы: технологии, материалы и применение
Cyhoeddwyd: (2017)

Физика и техника низкотемпературной плазмы: сборник научных трудов
Cyhoeddwyd: (Минск, Ин-т тепло и массобмена, 1977)

Плазменно-дуговой переплав
gan: Клюев М. М. Михаил Маркович
Cyhoeddwyd: (Москва, Металлургия, 1980)

Молекулярно-пучковая и МОС-гидридная технологии: методы формирования наноструктурированных гетерокомпозиций учебно-методическое пособие
gan: Курочка С. П.
Cyhoeddwyd: (Москва, МИСИС, 2015)

Разработка технологии электрохимического синтеза новых материалов класса «stripping» для микро- и наноэлектроники; Химия и химическая технология на рубеже тысячелетий
gan: Торгашов Ю. Н.
Cyhoeddwyd: (2004)

Плазменная релятивистская СВЧ - электроника: учебное пособие
gan: Кузелев М. В. Михаил Викторович
Cyhoeddwyd: (Москва, Изд-во МГГУ, 2002)

LIGA-технология; Прогрессивные технологии и экономика в машиностроении
gan: Родионова Е. А.
Cyhoeddwyd: (2009)

Вопросы физики низкотемпературной плазмы: сборник статей
Cyhoeddwyd: (Минск, Наука и техника, 1970)

Многоволновая диагностика нанодисперсных частиц, образующихся при плазмохимических процессах, протекающих в магнитном поле; Изотопы: технологии, материалы и применение
Cyhoeddwyd: (2017)

Генераторы низкотемпературной плазмы: труды III Всесоюзной научно-технической конференции по генераторам низкотемпературной плазмы, Минск, 1969 г.
Cyhoeddwyd: (Москва, Энергия, 1969)

Функция распределения электронов в анизотропной плазме
gan: Мустафаев А. С. Александр Сеит-Умерович
Cyhoeddwyd: (Санкт-Петербург, Изд-во НМСУ, 2013)

Технология материалов микро- и наноэлектроники
Cyhoeddwyd: (Москва, Изд-во МИСиС, 2007)

Ч. 2 : Микроэлектроника; Электроника
Cyhoeddwyd: (2016)

Плазменная безмазутная растопка котлов и стабилизация горения пылеугольного факела
Cyhoeddwyd: (Новосибирск, Наука, 1995)

Ч. 2; Микролитография: принципы, методы, материалы
Cyhoeddwyd: (1990)

Плазменные и пучковые технологии в водородной энергетике: электронный курс
gan: Ковальчук А. Н. Анастасия Николаевна
Cyhoeddwyd: (Томск, TPU Moodle, 2014)

Изучение эмиссионных свойств плазмы: методические указания
gan: Коваль Н. Н. Николай Николаевич
Cyhoeddwyd: (Томск, Изд-во ТПУ, 2008)

Элементная база микро- и наноэлектроники: физика и технология: Межвузовский сборник
Cyhoeddwyd: (Москва, [Б. и.], 1994)

Введение в технологию материалов микроэлектроники. В 3 частях. Часть 3. Эпитаксиальный рост учебник для вузов
gan: Александрова О. А.
Cyhoeddwyd: (Санкт-Петербург, Лань, 2023)

Процессы плазменного травления в микро- и нанотехнологиях: учебное пособие для вузов
gan: Галперин В. А. Вячеслав Александрович
Cyhoeddwyd: (Москва, БИНОМ. Лаборатория знаний, 2010)

Физико-химические аспекты формирования структуры стеклокристаллического материала; Известия вузов. Физика; Т. 59, № 9, ч. 3
Cyhoeddwyd: (2016)

Математическое моделирование процессов в низковольтном плазменно-пучковом разряде
Cyhoeddwyd: (Москва, Энергоатомиздат, 1990)

Технология комплексной глубокой переработки циркон-ильменитовых песков Туганского месторождения в условиях низкотемпературной плазмы; Физико-технические проблемы атомной энергетики и промышленности (производство, наука, образование)
gan: Власов В. А. Виктор Алексеевич
Cyhoeddwyd: (2004)

Изучение эмиссионных свойств плазмы: методические указания
gan: Коваль Н. Н. Николай Николаевич
Cyhoeddwyd: (Томск, Изд-во ТПУ, 2008)

Линейные измерения микрометрового и нанометрового диапазонов в микроэлектронике и нанотехнологии
Cyhoeddwyd: (Москва, Наука, 2006)

Введение в плазменные технологии и водородную энергетику: учебное пособие
gan: Юрьева А. В. Алена Викторовна
Cyhoeddwyd: (Томск, Изд-во ТПУ, 2014)

Методы нанолитографии. Достижения и перспективы
Cyhoeddwyd: (Ростов-на-Дону, Терра-Принт, 2008)

Плазменно-термическая обработка углей и золошлаковых отходов в энергетике монография
gan: Буянтуев С. Л.
Cyhoeddwyd: (Улан-Удэ, ВСГУТУ, 2015)

Расчет газодинамики плазменного потока для неполного окисления углерода в низкотемпературной плазме; Изотопы: технологии, материалы и применение
Cyhoeddwyd: (2017)

Исследование и разработка источников газа для плазменных электронных и ионных пушек: диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук; Спец. 05.12.10
gan: Фролова Г. Н. Галина Николаевна
Cyhoeddwyd: (Томск, [Б. и.], 1980)

Основы плазменной электроники
gan: Кондратенко А. Н. Анатолий Николаевич
Cyhoeddwyd: (Москва, Энергоатомиздат, 1988)