Микроэлектроника: научный журнал

Podrobná bibliografie
Korporativní autor:	Российская академия наук (РАН)
Shrnutí:	С 2012 г. журнал представлен в электронном виде
Jazyk:	ruština
Vydáno:	Москва, Наука, 1973-
Témata:	наноэлектроника микроэлектроника литография плазменные технологии эпитаксия пучковые технологии многослойные структуры низкотемпературная плазма нанометрология
On-line přístup:	http://www.ftian.ru/journals/mikelek/ https://elibrary.ru/title_about.asp?id=7900
Médium:	Elektronický zdroj Kniha
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=380565

Internet