|
|
|
|
| LEADER |
00000nam1a2200000 4500 |
| 001 |
380565 |
| 005 |
20231101062704.0 |
| 011 |
|
|
|a 0544-1269
|
| 035 |
|
|
|a (RuTPU)RU\TPU\prd\1711
|
| 035 |
|
|
|a RU\TPU\prd\258
|
| 090 |
|
|
|a 380565
|
| 100 |
|
|
|a 20020220a19729999k y0rusy50 ca
|
| 101 |
0 |
|
|a rus
|
| 102 |
|
|
|a RU
|
| 200 |
1 |
|
|a Микроэлектроника
|e научный журнал
|f Российская академия наук (РАН)
|
| 210 |
|
|
|a Москва
|c Наука
|d 1973-
|
| 300 |
|
|
|a С 2012 г. журнал представлен в электронном виде
|
| 305 |
|
|
|a Издается с 1972 г.
|
| 326 |
|
|
|a 6 номеров в год
|
| 469 |
|
|
|0 (RuTPU)RU\TPU\subscr\385
|
| 610 |
1 |
|
|a наноэлектроника
|
| 610 |
1 |
|
|a микроэлектроника
|
| 610 |
1 |
|
|a литография
|
| 610 |
1 |
|
|a плазменные технологии
|
| 610 |
1 |
|
|a эпитаксия
|
| 610 |
1 |
|
|a пучковые технологии
|
| 610 |
1 |
|
|a многослойные структуры
|
| 610 |
1 |
|
|a низкотемпературная плазма
|
| 610 |
1 |
|
|a нанометрология
|
| 675 |
|
|
|a 621.382.049.77
|v 3
|
| 712 |
0 |
2 |
|a Российская академия наук (РАН)
|2 stltpush
|3 (RuTPU)RU\TPU\col\51
|
| 801 |
|
0 |
|a RU
|b 63413507
|c 20011210
|g PSBO
|
| 801 |
|
2 |
|a RU
|b 63413507
|c 20190409
|g PSBO
|
| 856 |
4 |
|
|u http://www.ftian.ru/journals/mikelek/
|
| 856 |
4 |
|
|u https://elibrary.ru/title_about.asp?id=7900
|
| 942 |
|
|
|c CR
|
| 969 |
|
|
|0 001RU\TPU\subscr\385
|
