Микроэлектроника, научный журнал

Մատենագիտական մանրամասներ
Համատեղ հեղինակ:	Российская академия наук (РАН)
Ամփոփում:	С 2012 г. журнал представлен в электронном виде
Լեզու:	ռուսերեն
Հրապարակվել է:	Москва, Наука, 1973-
Խորագրեր:	наноэлектроника микроэлектроника литография плазменные технологии эпитаксия пучковые технологии многослойные структуры низкотемпературная плазма нанометрология
Առցանց հասանելիություն:	http://www.ftian.ru/journals/mikelek/ https://elibrary.ru/title_about.asp?id=7900
Ձևաչափ:	Էլեկտրոնային Գիրք
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=380565

Նկարագրություն
Ամփոփում:	С 2012 г. журнал представлен в электронном виде
ISSN:	0544-1269

Նմանատիպ նյութեր