|
|
|
|
| LEADER |
00000nam0a2200000 4500 |
| 001 |
379504 |
| 005 |
20240202102644.0 |
| 035 |
|
|
|a (RuTPU)RU\TPU\retro\36971
|
| 090 |
|
|
|a 379504
|
| 100 |
|
|
|a 20231011d2023 k||y0rusy50 ca
|
| 101 |
0 |
|
|a rus
|
| 102 |
|
|
|a RU
|
| 105 |
|
|
|a a dm 001yy
|
| 181 |
|
0 |
|a i
|b e
|
| 182 |
|
0 |
|a n
|
| 183 |
|
0 |
|a nc
|2 RDAcarrier
|
| 200 |
1 |
|
|a Синтез и исследование свойств тонких углеродных пленок, полученных методом осаждения в плазме CH[4] и последующей термообработкой
|e автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук
|e спец. 1.3.8
|f Прокопьев Айсен Русланович
|g Северо-Восточный федеральный университет ; Томский политехнический университет ; науч. рук. Е. П. Неустроев
|
| 203 |
|
|
|a Текст
|b визуальный
|c непосредственный
|
| 210 |
|
1 |
|a Томск
|d 2023
|
| 215 |
|
|
|a 19 с.
|c ил.
|
| 283 |
|
|
|a volume
|2 RDAcarrier
|
| 300 |
|
|
|a Защита сост. 22.11.2023 г.
|
| 320 |
|
|
|a Библиография.: с. 15-19 (30 назв.)
|
| 333 |
|
|
|a На правах рукописи
|
| 452 |
|
1 |
|0 379271
|9 379271
|a Прокопьев, А. Р.
|c Томск
|d 2023
|o автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук
|p 1 файл (714 КБ)
|t Синтез и исследование свойств тонких углеродных пленок, полученных методом осаждения в плазме CH4 и последующей термообработкой
|u https://earchive.tpu.ru/handle/11683/76971
|
| 606 |
1 |
|
|a Углеродные пленки, тонкие
|x Получение
|9 87849
|
| 610 |
1 |
|
|a авторефераты диссертаций
|
| 610 |
1 |
|
|a тонкие пленки
|
| 610 |
1 |
|
|a синтез
|
| 610 |
1 |
|
|a плазменное осаждение
|
| 610 |
1 |
|
|a углерод
|
| 610 |
1 |
|
|a твердотельные подложки
|
| 610 |
1 |
|
|a термообработка
|
| 675 |
|
|
|a 539.23(04)
|v 4
|z rus
|
| 686 |
|
|
|2 oksvnk
|a 01.04.07
|
| 700 |
|
1 |
|a Прокопьев
|b А. Р.
|g Айсен Русланович
|
| 702 |
|
1 |
|4 727
|a Неустроев
|b Е. П.
|g Ефим Петрович
|
| 712 |
0 |
2 |
|a Северо-Восточный федеральный университет им. М. К. Аммосова
|c (Якутск)
|c (2010- )
|9 27658
|
| 712 |
0 |
2 |
|a Национальный исследовательский Томский политехнический университет
|c (2009- )
|9 26305
|
| 801 |
|
0 |
|a RU
|b 63413507
|c 20231011
|
| 942 |
|
|
|c BK
|
