Синтез и исследование свойств тонких углеродных пленок, полученных методом осаждения в плазме CH[4] и последующей термообработкой, автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук

Bibliografske podrobnosti
Glavni avtor: Прокопьев А. Р. Айсен Русланович
Corporate Authors: Северо-Восточный федеральный университет им. М. К. Аммосова, Национальный исследовательский Томский политехнический университет
Drugi avtorji: Неустроев Е. П. Ефим Петрович (727)
Izvleček:Защита сост. 22.11.2023 г.
На правах рукописи
Izdano: Томск, 2023
Teme:
Format: Knjiga
KOHA link:https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=379504