Синтез и исследование свойств тонких углеродных пленок, полученных методом осаждения в плазме CH[4] и последующей термообработкой, автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук

Bibliographic Details
Main Author:	Прокопьев А. Р. Айсен Русланович
Corporate Authors:	Северо-Восточный федеральный университет им. М. К. Аммосова, Национальный исследовательский Томский политехнический университет
Other Authors:	Неустроев Е. П. Ефим Петрович (727)
Summary:	Защита сост. 22.11.2023 г. На правах рукописи
Published:	Томск, 2023
Subjects:	авторефераты диссертаций тонкие пленки синтез плазменное осаждение углерод твердотельные подложки термообработка
Format:	Book
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=379504

Similar Items