Синтез и исследование свойств тонких углеродных пленок, полученных методом осаждения в плазме CH[4] и последующей термообработкой: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук; спец. 1.3.8

Синтез и исследование свойств тонких углеродных пленок, полученных методом осаждения в плазме CH[4] и последующей термообработкой: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук; спец. 1.3.8

Bibliografische gegevens
Hoofdauteur: Прокопьев А. Р. Айсен Русланович
Coauteurs: Северо-Восточный федеральный университет им. М. К. Аммосова, Национальный исследовательский Томский политехнический университет
Andere auteurs: Неустроев Е. П. Ефим Петрович (научный руководитель)
Samenvatting:Защита сост. 22.11.2023 г.
На правах рукописи
Taal:Russisch
Gepubliceerd in: Томск, 2023
Onderwerpen:
Углеродные пленки, тонкие > Получение
авторефераты диссертаций
тонкие пленки
синтез
плазменное осаждение
углерод
твердотельные подложки
термообработка
Formaat: Boek
KOHA link:https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=379504
Omschrijving
Fysieke beschrijving:19 с. ил.
Samenvatting:Защита сост. 22.11.2023 г.
На правах рукописи

Gelijkaardige items