Введение в современную микро-и наносистемную технику учебное пособие

Введение в современную микро-и наносистемную технику, учебное пособие

Bibliographic Details
Main Author:	Гридчин А. В. Александр Викторович
Summary:	Раскрыто основное содержание понятий «микросистема» и «микросистемная техника». В порядке общего ознакомления рассмотрены вопросы проектирования, изготовления и экспериментальной верификации микросистем. Представлен кремний как основной материал современной электроники. Дано последовательное описание технологии производства монокристаллического кремния и изготовления кремниевых пластин. Представлено современное микроэлектронное производство и применяемые на нем стандартные технологические операции. Сделан вывод о применении описанных технологий для изготовления микро- и наносистемной техники.
Language:	Russian
Published:	Москва, Инфра-Инженерия, 2024
Subjects:	микросистемы философия логические схемы наносистемная техника проектирование изготовление верификация кремний рождение эволюция вакуум создание полупроводниковое производство фотолитография травление термическое окисление термическая диффузия ионная имплантация осаждение эпитаксия металлизация напыление учебные пособия
Format:	Book
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=379498

Similar Items

Технологические основы изготовления интегральных микросхем учебное пособие
by: Терехов А. И.
Published: (Иваново, ИГЭУ, 2018)

Т. 2: Технологические аспекты
Published: (2011)

Ч. 1: Технологические процессы изготовления кремниевых интегральных схем и их моделирование
by: Королев М. А. Михаил Александрович
Published: (2009)

Базовые технологические процессы микросистемной техники
by: Потловский К. Г.
Published: (Москва, МГТУ им. Н.Э. Баумана, 2013)

Ч. 1: Технологические процессы изготовления кремниевых интегральных схем и их моделирование
Published: (2007)

Шаги к микроразмерам : методы микроминиатюризации
by: Александров В. К. Владимир Кузьмич
Published: (Минск, Наука и техника, 1983)

Проблемы литографии в микроэлектронике
Published: (Москва, Наука, 1987)

Оборудование полупроводникового производства учебное пособие для вузов
by: Блинов И. Г. Иван Григорьевич
Published: (Москва, Машиностроение, 1986)

Ч. 1
Published: (2008)

Введение в современную микро- и наносистемную технику Учебное пособие Учебное пособие
by: Гридчин А.В. Александр Викторович
Published: (Вологда, Инфра-Инженерия, 2024)

Плазменная металлизация в вакууме
Published: (Минск, Наука и техника, 1983)

Технология микросхем учебное пособие
by: Парфенов О. Д. Олег Дмитриевич
Published: (Москва, Высшая школа, 1986)

Stability of the GaAs based Hall sensors irradiated by gamma quanta
by: Gradoboev A. V. Aleksandr Vasilyevich
Published: (2015)

Основы технологии электронной компонентной базы : практикум
by: Астахов В. П.
Published: (Москва, МИСИС, 2016)

Т. 1: Физико-химические основы технологии микроэлектроники
by: Чистяков Ю. Д. Юрий Дмитриевич
Published: (2010)

Радиационный контроль полуизолирующего арсенида галлия
by: Клименов В. А. Василий Александрович
Published: (2012)

Физико-химические процессы в технологии РЭА учебник для вузов
by: Черняев В. Н. Владимир Николаевич
Published: (Москва, Высшая школа, 1987)

Современные технологии в микроэлектронике электронный курс
by: Юрьева А. В. Алена Викторовна
Published: (Томск, TPU Moodle, 2014)

Микро- и нанотехнологии пленочных гетерокомпозиций курс лекций
by: Кузнецов Г. Д.
Published: (Москва, МИСИС, 2008)

Микроэлектроника учебное пособие
by: Бондарь Б. Г. Борис Георгиевич
Published: (Киев, Вища школа, 1981)

Современные технологии модифицирования поверхности металлических материалов и нанесения покрытий методические указания к выполнению лабораторных работ
by: Зенин Б. С. Борис Сергеевич
Published: (Томск, Изд-во ТПУ, 2008)

Расчет и проектирование тиристоров пер. с англ.
by: Тейлор П. Д. Поль Д.
Published: (Москва, Энергоатомиздат, 1990)

Химическая обработка и фотолитология в производстве полупроводниковых приборов и микросхем учебное пособие
by: Мокеев О. К. Олег Константинович
Published: (Москва, Высшая школа, 1979)

Кн. 2
Published: (1986)

Нанотехнологии в микроэлектронике. Нанолитография - процессы и оборудование учебно-справочное руководство
by: Киреев В. Ю. Валерий Юрьевич
Published: (Долгопрудный, Интеллект, 2016)

Контактная фотолитография и травление тонкопленочных структур
by: Боброва Ю. С.
Published: (Москва, МГТУ им. Н.Э. Баумана, 2020)

Практикум по курсу «Проектирование и технология электронной компонентной базы» учебно-методическое пособие для вузов
by: Быкадорова Г. В.
Published: (Воронеж, ВГУ, 2014)

Перспективные коррозионно-стойкие материалы и технологии защиты металлов от коррозии: Аморфные и нанокристаллические материалы (методы получения, структура и коррозионная стойкость) курс лекций
by: Пустов Ю. А.
Published: (Москва, МИСИС, 2010)

Фото-, электроно- и рентгенорезисты
by: Боков Ю. С. Юрий Сергеевич
Published: (Москва, Радио и связь, 1982)

Highly selective deposition of CVD diamond on si wafers by using a combined technique of photolithography and ion etching
by: Okhotnikov V. V. Vitaly Vladimirovich
Published: (2016)

Кн. 1
Published: (1986)

Вып. 29
Published: (1979)

Методы создания износостойких покрытий учебное пособие
by: Елагина О. Ю. Оксана Юрьевна
Published: (Москва, Недра, 2010)

Структура и свойства покрытий из стали 40Х13, полученных с использованием различных методов газотермического напыления
Published: (2002)

Поверхностная обработка пластмасс пер. с чеш.
Published: (Ленинград, Химия, 1972)

Физические основы микроэлектроники учебник для вузов
by: Марголин В. И. Владимир Игоревич
Published: (Москва, Академия, 2008)

Основные процессы планарной технологии кремниевых ИПС учебное пособие
Published: (Москва, [Б. и.], 1977)

Плазменно-иммерсионная ионная имплантация алюминия в титан ВТ1-0
by: Сутыгина А. Н. Алина Николаевна
Published: (2015)

Введение в микросистемную технику
by: Нарайкин О. С.
Published: (Москва, МГТУ им. Н.Э. Баумана, 2011)

Основы технологии электронной компонентной базы учебное пособие
by: Архипов А. В.
Published: (Самара, Самарский университет, 2022)