Введение в современную микро-и наносистемную технику: учебное пособие

Введение в современную микро-и наносистемную технику: учебное пособие

Bibliographic Details
Main Author:	Гридчин А. В. Александр Викторович
Summary:	Раскрыто основное содержание понятий «микросистема» и «микросистемная техника». В порядке общего ознакомления рассмотрены вопросы проектирования, изготовления и экспериментальной верификации микросистем. Представлен кремний как основной материал современной электроники. Дано последовательное описание технологии производства монокристаллического кремния и изготовления кремниевых пластин. Представлено современное микроэлектронное производство и применяемые на нем стандартные технологические операции. Сделан вывод о применении описанных технологий для изготовления микро- и наносистемной техники.
Language:	Russian
Published:	Москва, Инфра-Инженерия, 2024
Subjects:	Микроэлектроника микросистемы философия логические схемы наносистемная техника проектирование изготовление верификация кремний рождение эволюция вакуум создание полупроводниковое производство фотолитография травление термическое окисление термическая диффузия ионная имплантация осаждение эпитаксия металлизация напыление учебные пособия
Format:	Book
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=379498

Similar Items

Т. 2: Технологические аспекты; Введение в процессы интегральных микро- и нанотехнологий
Published: (2011)

Технологические основы изготовления интегральных микросхем учебное пособие
by: Терехов А. И.
Published: (Иваново, ИГЭУ, 2018)

Ч. 1: Технологические процессы изготовления кремниевых интегральных схем и их моделирование; Технология, конструкции и методы моделирования кремниевых интегральных микросхем
by: Королев М. А. Михаил Александрович
Published: (2009)

Базовые технологические процессы микросистемной техники
by: Потловский К. Г.
Published: (Москва, МГТУ им. Н.Э. Баумана, 2013)

Введение в современную микро- и наносистемную технику Учебное пособие Учебное пособие
by: Гридчин А.В. Александр Викторович
Published: (Вологда, Инфра-Инженерия, 2024)

Ч. 1: Технологические процессы изготовления кремниевых интегральных схем и их моделирование; Технология, конструкции и методы моделирования кремниевых интегральных микросхем
Published: (2007)

Шаги к микроразмерам : методы микроминиатюризации
by: Александров В. К. Владимир Кузьмич
Published: (Минск, Наука и техника, 1983)

Проблемы литографии в микроэлектронике
Published: (Москва, Наука, 1987)

Т. 1: Физико-химические основы технологии микроэлектроники; Введение в процессы интегральных микро- и нанотехнологий
by: Чистяков Ю. Д. Юрий Дмитриевич
Published: (2010)

Оборудование полупроводникового производства: учебное пособие для вузов
by: Блинов И. Г. Иван Григорьевич
Published: (Москва, Машиностроение, 1986)

Ч. 1; Технологические основы микроэлектроники
Published: (2008)

Плазменная металлизация в вакууме
Published: (Минск, Наука и техника, 1983)

Технология микросхем: учебное пособие
by: Парфенов О. Д. Олег Дмитриевич
Published: (Москва, Высшая школа, 1986)

Основы технологии электронной компонентной базы : практикум
by: Астахов В. П.
Published: (Москва, МИСИС, 2016)

Stability of the GaAs based Hall sensors irradiated by gamma quanta; IOP Conference Series: Materials Science and Engineering; Vol. 81 : Radiation-Thermal Effects and Processes in Inorganic Materials
by: Gradoboev A. V. Aleksandr Vasilyevich
Published: (2015)

Радиационный контроль полуизолирующего арсенида галлия; Вестник науки Сибири; № 3 (4)
by: Клименов В. А. Василий Александрович
Published: (2012)

Физико-химические процессы в технологии РЭА: учебник для вузов
by: Черняев В. Н. Владимир Николаевич
Published: (Москва, Высшая школа, 1987)

Технология микроэлектронных устройств: справочник
by: Готра З. Ю. Зенон Юрьевич
Published: (Москва, Радио и связь, 1991)

Современные технологии в микроэлектронике: электронный курс
by: Юрьева А. В. Алена Викторовна
Published: (Томск, TPU Moodle, 2014)

Микро- и нанотехнологии пленочных гетерокомпозиций курс лекций
by: Кузнецов Г. Д.
Published: (Москва, МИСИС, 2008)

Современные технологии модифицирования поверхности металлических материалов и нанесения покрытий: методические указания к выполнению лабораторных работ
by: Зенин Б. С. Борис Сергеевич
Published: (Томск, Изд-во ТПУ, 2008)

Моделирование технологических процессов микроэлектроники
Published: (Москва, Наука, 1992)

Микроэлектроника: учебное пособие
by: Бондарь Б. Г. Борис Георгиевич
Published: (Киев, Вища школа, 1981)

Химическая обработка и фотолитология в производстве полупроводниковых приборов и микросхем: учебное пособие
by: Мокеев О. К. Олег Константинович
Published: (Москва, Высшая школа, 1979)

Расчет и проектирование тиристоров: пер. с англ.
by: Тейлор П. Д. Поль Д.
Published: (Москва, Энергоатомиздат, 1990)

Кн. 2; Технология СБИС
Published: (1986)

Контактная фотолитография и травление тонкопленочных структур
by: Боброва Ю. С.
Published: (Москва, МГТУ им. Н.Э. Баумана, 2020)

Нанотехнологии в микроэлектронике. Нанолитография - процессы и оборудование: учебно-справочное руководство
by: Киреев В. Ю. Валерий Юрьевич
Published: (Долгопрудный, Интеллект, 2016)

Практикум по курсу «Проектирование и технология электронной компонентной базы» учебно-методическое пособие для вузов
by: Быкадорова Г. В.
Published: (Воронеж, ВГУ, 2014)

Перспективные коррозионно-стойкие материалы и технологии защиты металлов от коррозии: Аморфные и нанокристаллические материалы (методы получения, структура и коррозионная стойкость) курс лекций
by: Пустов Ю. А.
Published: (Москва, МИСИС, 2010)

Фото-, электроно- и рентгенорезисты
by: Боков Ю. С. Юрий Сергеевич
Published: (Москва, Радио и связь, 1982)

Highly selective deposition of CVD diamond on si wafers by using a combined technique of photolithography and ion etching; Energy Fluxes and Radiation Effects (EFRE-2016)
by: Okhotnikov V. V. Vitaly Vladimirovich
Published: (2016)

Методы создания износостойких покрытий: учебное пособие
by: Елагина О. Ю. Оксана Юрьевна
Published: (Москва, Недра, 2010)

Структура и свойства покрытий из стали 40Х13, полученных с использованием различных методов газотермического напыления; Физическая мезомеханика; Т. 5, № 1
Published: (2002)

Кн. 1; Технология СБИС
Published: (1986)

Вып. 29; Полупроводниковая техника и микроэлектроника
Published: (1979)

Поверхностная обработка пластмасс: пер. с чеш.
Published: (Ленинград, Химия, 1972)

Введение в микросистемную технику
by: Нарайкин О. С.
Published: (Москва, МГТУ им. Н.Э. Баумана, 2011)

Элионная теория в микро- и наноиндустрии.Ускоренные ионы
by: Кузнецов Г. Д.
Published: (Москва, МИСИС, 2012)

Плазменно-иммерсионная ионная имплантация алюминия в титан ВТ1-0; Перспективы развития фундаментальных наук
by: Сутыгина А. Н. Алина Николаевна
Published: (2015)