Введение в современную микро-и наносистемную технику: учебное пособие

Введение в современную микро-и наносистемную технику: учебное пособие

Λεπτομέρειες βιβλιογραφικής εγγραφής
Κύριος συγγραφέας:	Гридчин А. В. Александр Викторович
Περίληψη:	Раскрыто основное содержание понятий «микросистема» и «микросистемная техника». В порядке общего ознакомления рассмотрены вопросы проектирования, изготовления и экспериментальной верификации микросистем. Представлен кремний как основной материал современной электроники. Дано последовательное описание технологии производства монокристаллического кремния и изготовления кремниевых пластин. Представлено современное микроэлектронное производство и применяемые на нем стандартные технологические операции. Сделан вывод о применении описанных технологий для изготовления микро- и наносистемной техники.
Γλώσσα:	Ρωσικά
Έκδοση:	Москва, Инфра-Инженерия, 2024
Θέματα:	Микроэлектроника микросистемы философия логические схемы наносистемная техника проектирование изготовление верификация кремний рождение эволюция вакуум создание полупроводниковое производство фотолитография травление термическое окисление термическая диффузия ионная имплантация осаждение эпитаксия металлизация напыление учебные пособия
Μορφή:	Βιβλίο
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=379498

Παρόμοια τεκμήρια

Т. 2: Технологические аспекты; Введение в процессы интегральных микро- и нанотехнологий
Έκδοση: (2011)

Технологические основы изготовления интегральных микросхем учебное пособие
από: Терехов А. И.
Έκδοση: (Иваново, ИГЭУ, 2018)

Ч. 1: Технологические процессы изготовления кремниевых интегральных схем и их моделирование; Технология, конструкции и методы моделирования кремниевых интегральных микросхем
από: Королев М. А. Михаил Александрович
Έκδοση: (2009)

Базовые технологические процессы микросистемной техники
από: Потловский К. Г.
Έκδοση: (Москва, МГТУ им. Н.Э. Баумана, 2013)

Ч. 1: Технологические процессы изготовления кремниевых интегральных схем и их моделирование; Технология, конструкции и методы моделирования кремниевых интегральных микросхем
Έκδοση: (2007)

Шаги к микроразмерам : методы микроминиатюризации
από: Александров В. К. Владимир Кузьмич
Έκδοση: (Минск, Наука и техника, 1983)

Проблемы литографии в микроэлектронике
Έκδοση: (Москва, Наука, 1987)

Введение в современную микро- и наносистемную технику Учебное пособие Учебное пособие
από: Гридчин А.В. Александр Викторович
Έκδοση: (Вологда, Инфра-Инженерия, 2024)

Т. 1: Физико-химические основы технологии микроэлектроники; Введение в процессы интегральных микро- и нанотехнологий
από: Чистяков Ю. Д. Юрий Дмитриевич
Έκδοση: (2010)

Оборудование полупроводникового производства: учебное пособие для вузов
από: Блинов И. Г. Иван Григорьевич
Έκδοση: (Москва, Машиностроение, 1986)

Ч. 1; Технологические основы микроэлектроники
Έκδοση: (2008)

Плазменная металлизация в вакууме
Έκδοση: (Минск, Наука и техника, 1983)

Основы технологии электронной компонентной базы : практикум
από: Астахов В. П.
Έκδοση: (Москва, МИСИС, 2016)

Stability of the GaAs based Hall sensors irradiated by gamma quanta; IOP Conference Series: Materials Science and Engineering; Vol. 81 : Radiation-Thermal Effects and Processes in Inorganic Materials
από: Gradoboev A. V. Aleksandr Vasilyevich
Έκδοση: (2015)

Технология микросхем: учебное пособие
από: Парфенов О. Д. Олег Дмитриевич
Έκδοση: (Москва, Высшая школа, 1986)

Радиационный контроль полуизолирующего арсенида галлия; Вестник науки Сибири; № 3 (4)
από: Клименов В. А. Василий Александрович
Έκδοση: (2012)

Физико-химические процессы в технологии РЭА: учебник для вузов
από: Черняев В. Н. Владимир Николаевич
Έκδοση: (Москва, Высшая школа, 1987)

Современные технологии в микроэлектронике: электронный курс
από: Юрьева А. В. Алена Викторовна
Έκδοση: (Томск, TPU Moodle, 2014)

Технология микроэлектронных устройств: справочник
από: Готра З. Ю. Зенон Юрьевич
Έκδοση: (Москва, Радио и связь, 1991)

Микро- и нанотехнологии пленочных гетерокомпозиций курс лекций
από: Кузнецов Г. Д.
Έκδοση: (Москва, МИСИС, 2008)

Современные технологии модифицирования поверхности металлических материалов и нанесения покрытий: методические указания к выполнению лабораторных работ
από: Зенин Б. С. Борис Сергеевич
Έκδοση: (Томск, Изд-во ТПУ, 2008)

Микроэлектроника: учебное пособие
από: Бондарь Б. Г. Борис Георгиевич
Έκδοση: (Киев, Вища школа, 1981)

Моделирование технологических процессов микроэлектроники
Έκδοση: (Москва, Наука, 1992)

Химическая обработка и фотолитология в производстве полупроводниковых приборов и микросхем: учебное пособие
από: Мокеев О. К. Олег Константинович
Έκδοση: (Москва, Высшая школа, 1979)

Расчет и проектирование тиристоров: пер. с англ.
από: Тейлор П. Д. Поль Д.
Έκδοση: (Москва, Энергоатомиздат, 1990)

Нанотехнологии в микроэлектронике. Нанолитография - процессы и оборудование: учебно-справочное руководство
από: Киреев В. Ю. Валерий Юрьевич
Έκδοση: (Долгопрудный, Интеллект, 2016)

Кн. 2; Технология СБИС
Έκδοση: (1986)

Контактная фотолитография и травление тонкопленочных структур
από: Боброва Ю. С.
Έκδοση: (Москва, МГТУ им. Н.Э. Баумана, 2020)

Перспективные коррозионно-стойкие материалы и технологии защиты металлов от коррозии: Аморфные и нанокристаллические материалы (методы получения, структура и коррозионная стойкость) курс лекций
από: Пустов Ю. А.
Έκδοση: (Москва, МИСИС, 2010)

Практикум по курсу «Проектирование и технология электронной компонентной базы» учебно-методическое пособие для вузов
από: Быкадорова Г. В.
Έκδοση: (Воронеж, ВГУ, 2014)

Методы создания износостойких покрытий: учебное пособие
από: Елагина О. Ю. Оксана Юрьевна
Έκδοση: (Москва, Недра, 2010)

Вып. 29; Полупроводниковая техника и микроэлектроника
Έκδοση: (1979)

Кн. 1; Технология СБИС
Έκδοση: (1986)

Highly selective deposition of CVD diamond on si wafers by using a combined technique of photolithography and ion etching; Energy Fluxes and Radiation Effects (EFRE-2016)
από: Okhotnikov V. V. Vitaly Vladimirovich
Έκδοση: (2016)

Фото-, электроно- и рентгенорезисты
από: Боков Ю. С. Юрий Сергеевич
Έκδοση: (Москва, Радио и связь, 1982)

Структура и свойства покрытий из стали 40Х13, полученных с использованием различных методов газотермического напыления; Физическая мезомеханика; Т. 5, № 1
Έκδοση: (2002)

Поверхностная обработка пластмасс: пер. с чеш.
Έκδοση: (Ленинград, Химия, 1972)

Физические основы микроэлектроники: учебник для вузов
από: Марголин В. И. Владимир Игоревич
Έκδοση: (Москва, Академия, 2008)

Введение в микросистемную технику
από: Нарайкин О. С.
Έκδοση: (Москва, МГТУ им. Н.Э. Баумана, 2011)

Элионная теория в микро- и наноиндустрии.Ускоренные ионы
από: Кузнецов Г. Д.
Έκδοση: (Москва, МИСИС, 2012)