Bibliographic Details
| Main Author: |
Гридчин А. В. Александр Викторович |
|---|
| Summary: | Раскрыто основное содержание понятий «микросистема» и «микросистемная техника». В порядке общего ознакомления рассмотрены вопросы проектирования, изготовления и экспериментальной верификации микросистем. Представлен кремний как основной материал современной электроники. Дано последовательное описание технологии производства монокристаллического кремния и изготовления кремниевых пластин. Представлено современное микроэлектронное производство и применяемые на нем стандартные технологические операции. Сделан вывод о применении описанных технологий для изготовления микро- и наносистемной техники. |
|---|
| Published: |
Москва, Инфра-Инженерия, 2024
|
|---|
| Subjects: | |
|---|
| Format: | Book
|
|---|
| KOHA link: | https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=379498 |
|---|
