|
|
|
|
| LEADER |
00000nam0a2200000 4500 |
| 001 |
379498 |
| 005 |
20231213111206.0 |
| 010 |
|
|
|a 978-5-9729-1613-9
|
| 035 |
|
|
|a (RuTPU)RU\TPU\retro\36965
|
| 090 |
|
|
|a 379498
|
| 100 |
|
|
|a 20231011d2024 m||y0rusy50 ca
|
| 101 |
0 |
|
|a rus
|
| 102 |
|
|
|a RU
|
| 105 |
|
|
|a a j 001yy
|
| 181 |
|
0 |
|a i
|b e
|
| 182 |
|
0 |
|a n
|
| 183 |
|
0 |
|a nc
|2 RDAcarrier
|
| 200 |
1 |
|
|a Введение в современную микро-и наносистемную технику
|e учебное пособие
|f А. В. Гридчин
|
| 203 |
|
|
|a Текст
|b визуальный
|c непосредственный
|
| 210 |
|
|
|a Москва
|a Вологда
|c Инфра-Инженерия
|d 2024
|
| 215 |
|
|
|a 228 с.
|c ил.
|
| 283 |
|
|
|a volume
|2 RDAcarrier
|
| 320 |
|
|
|a Список литературы в конце глав
|
| 330 |
|
|
|a Раскрыто основное содержание понятий «микросистема» и «микросистемная техника». В порядке общего ознакомления рассмотрены вопросы проектирования, изготовления и экспериментальной верификации микросистем. Представлен кремний как основной материал современной электроники. Дано последовательное описание технологии производства монокристаллического кремния и изготовления кремниевых пластин. Представлено современное микроэлектронное производство и применяемые на нем стандартные технологические операции. Сделан вывод о применении описанных технологий для изготовления микро- и наносистемной техники.
|
| 606 |
1 |
|
|a Микроэлектроника
|9 63253
|
| 610 |
1 |
|
|a микросистемы
|
| 610 |
1 |
|
|a философия
|
| 610 |
1 |
|
|a логические схемы
|
| 610 |
1 |
|
|a наносистемная техника
|
| 610 |
1 |
|
|a проектирование
|
| 610 |
1 |
|
|a изготовление
|
| 610 |
1 |
|
|a верификация
|
| 610 |
1 |
|
|a кремний
|
| 610 |
1 |
|
|a рождение
|
| 610 |
1 |
|
|a эволюция
|
| 610 |
1 |
|
|a вакуум
|
| 610 |
1 |
|
|a создание
|
| 610 |
1 |
|
|a полупроводниковое производство
|
| 610 |
1 |
|
|a фотолитография
|
| 610 |
1 |
|
|a травление
|
| 610 |
1 |
|
|a термическое окисление
|
| 610 |
1 |
|
|a термическая диффузия
|
| 610 |
1 |
|
|a ионная имплантация
|
| 610 |
1 |
|
|a осаждение
|
| 610 |
1 |
|
|a эпитаксия
|
| 610 |
1 |
|
|a металлизация
|
| 610 |
1 |
|
|a напыление
|
| 610 |
1 |
|
|a учебные пособия
|
| 675 |
|
|
|a 621.382.049.77(075.8)
|v 4
|z rus
|
| 700 |
|
1 |
|a Гридчин
|b А. В.
|g Александр Викторович
|
| 801 |
|
1 |
|a RU
|b 63413507
|c 20231011
|
| 942 |
|
|
|c BK
|
