Синтез и исследование свойств тонких углеродных пленок, полученных методом осаждения в плазме CH4 и последующей термообработкой: диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук; спец. 1.3.8

Синтез и исследование свойств тонких углеродных пленок, полученных методом осаждения в плазме CH4 и последующей термообработкой: диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук; спец. 1.3.8

Библиографические подробности
Главный автор:	Прокопьев А. Р. Айсен Русланович
Автор-организация:	Северо-Восточный федеральный университет им. М. К. Аммосова
Другие авторы:	Неустроев Е. П. Ефим Петрович (научный руководитель)
Примечания:	Заглавие с титульного экрана Электронная версия печатной публикации Защита сост. 22.11.2023
Язык:	русский
Опубликовано:	Якутск, 2023
Предметы:	Углеродные пленки, тонкие > Получение электронный ресурс диссертации углеродные пленки тонкие пленки синтез плазменное осаждение отжиг атомы углерода плазма метана аморфные гидрогенизированные пленки термообработка инертные газы твердотельные подложки морфология поверхности электрические свойства оптические свойства атомно-силовая микроскопия сканирующая электронная микроскопия рентгеновская энергодисперсионная спектроскопия спектроскопия комбинационного рассеяния света ультрафиолетовая спектроскопия инфракрасная спектроскопия
Online-ссылка:	https://earchive.tpu.ru/handle/11683/76973
Формат:	Электронный ресурс Книга
Запись в KOHA:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=379272

Схожие документы

Синтез и исследование свойств тонких углеродных пленок, полученных методом осаждения в плазме CH4 и последующей термообработкой: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук; спец. 1.3.8
по: Прокопьев А. Р. Айсен Русланович
Опубликовано: (Томск, 2023)

Синтез и исследование свойств тонких углеродных пленок, полученных методом осаждения в плазме CH[4] и последующей термообработкой: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук; спец. 1.3.8
по: Прокопьев А. Р. Айсен Русланович
Опубликовано: (Томск, 2023)

Формирование графитоподобных наноструктур в углеродных пленках, полученных электродуговым методом: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук; спец. 01.04.15
по: Хамдохов Э. З. Эльдар Залимович
Опубликовано: (Нальчик, [Б. и.], 2018)

Формирование a-C:H:SiOx плёнок методом плазмохимического осаждения: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук; спец. 01.04.04
по: Гренадёров А. С. Александр Сергеевич
Опубликовано: (Томск, [Б. и.], 2018)

Современная электронная микроскопия в исследовании вещества
Опубликовано: (Москва, Наука, 1982)

Осаждение тонких пленок из абляционной плазмы, генерируемой на мишени при воздействии мощного ионного пучка: диссертация на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук
по: Закутаев А. Н. Александр Николаевич
Опубликовано: (Томск, 1998)

Осаждение тонких пленок из абляционной плазмы, генерируемой на мишени при воздействии мощного ионного пучка: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук
по: Закутаев А. Н. Александр Николаевич
Опубликовано: (Томск, [Б. и.], 1998)

Электронная спектроскопия поверхности и тонких пленок: учебное пособие
по: Еловиков С. С. Сергей Сергеевич
Опубликовано: (Москва, Изд-во МГУ, 1992)

Influence of Cobalt on the Adhesion Strength of Polycrystalline Diamond Coatings on WC–Co Hard Alloys; Technical Physics; Vol. 63, iss. 2
по: Linnik S. A. Stepan Andreevich
Опубликовано: (2018)

Сегнетоэлектрики и родственные им материалы: пер. с англ.
по: Лайнс М.
Опубликовано: (Москва, Мир, 1981)

Фундаментальные основы процессов химического осаждения пленок и структур для наноэлектроники
Опубликовано: (Новосибирск, Изд-во СО РАН, 2013)

Подбор режимов работы радиочастотного источника оптически-эмиссионного спектрометра тлеющего разряда GD-Profiler 2 для анализа тонких пленок; Физико-технические проблемы в науке, промышленности и медицине (ФТПНПМ-2019)
по: Ломыгин А. Д. Антон Дмитриевич
Опубликовано: (2019)

Characterization of nitrogen-containing titanium dioxide thin films by X-ray diffraction and IR spectroscopy techniques; Перспективы развития фундаментальных наук
по: Пустовалова А. А. Алла Александровна
Опубликовано: (2015)

Нанотехнологии. Получение, методы контроля и международная стандартизация наноматериалов учебное пособие
по: Пломодьяло Р. Л.
Опубликовано: (Краснодар, КубГТУ, 2018)

Физические принципы осаждения из газовой фазы аморфных, нанокристаллических и микрокристаллических пленок алмазоподобного углерода и карбида кремния: автореферат диссертации на соискание ученой степени доктора физико-математических наук; Спец. 01.04.07
по: Тарала В. А. Виталий Алексеевич
Опубликовано: (Нальчик, 2013)

Особенности РОР-спектроскопии тонких пленок перовскитов; Вестник науки Сибири; № 1 (2)
Опубликовано: (2012)

Влияние строения комплексных частиц в пленкообразующем растворе на структуру и свойства пленок In[2]O[3]:Sn и SnO[2]:Sb; Известия Томского политехнического университета [Известия ТПУ]; Т. 307, № 2
по: Кузнецова С. А.
Опубликовано: (2004)

Свойства тонких пленок системы Та2О5-La2O3, полученных золь-гель методом; Известия Томского политехнического университета [Известия ТПУ]; Т. 308, № 1
по: Лисеенко О. В.
Опубликовано: (2005)

Т. 3: Электронные пучки в диагностике твердого тела; Пучки заряженных частиц и твердое тело
Опубликовано: (1990)

Synthesis of multilayer polycrystalline diamond films using bias-induced secondary nucleation; Materials Letters; Vol. 139
по: Linnik S. A. Stepan Andreevich
Опубликовано: (2015)

Модифицирование поверхности полимерного сосудистого трансплантата путем осаждения TiSiN покрытий; Перспективы развития фундаментальных наук; Т. 1 : Физика
по: Лаушкина А. А. Алина Алексеевна
Опубликовано: (2023)

Фундаментальные основы анализа нанопленок: пер. с англ.
по: Альфорд Т. Терри Л.
Опубликовано: (Москва, Научный мир, 2012)

Физические основы микротехнологии: пер. с англ.
по: Броудай И. Ивор
Опубликовано: (Москва, Мир, 1985)

Распыление меди импульсным мощным ионным пучком: структура и фазовый состав мишени и пленки; Физика и химия обработки материалов; № 1
Опубликовано: (2001)

Ion-Induced Defects in Graphite: A Combined Kelvin Probe and Raman Microscopy Investigation; Physica Status Solidi A; Vol. 216, iss. 19
Опубликовано: (2019)

Получение углеродных графитоподобных наноматериалов при переработке отходов на основе асфальтенов; Известия Томского политехнического университета [Известия ТПУ]. Инжиниринг георесурсов; Т. 333, № 12
Опубликовано: (2022)

Закономерности формирования пленок оксинитридов титана методом магнетронного распыления, их структурные особенности и свойства: диссертация на соискание учёной степени кандидата физико-математических наук; спец. 01.04.07
по: Сунь Чжилэй
Опубликовано: (Томск, 2020)

Тонкие ферромагнитные пленки: пер. с англ.
по: Праттон М.
Опубликовано: (Ленинград, Судостроение, 1967)

Методы и средства прецизионной спектрометрии: сбоник научных трудов
Опубликовано: (Москва, ВНИИФТРИ, 1987)

Дисперсия времени переключения и сохранение бистабильных состояний в сегнетоэлектрических пленках Ленгмюра-Блоджетт; Журнал экспериментальной и теоретической физики; Т. 126, вып. 1
Опубликовано: (2004)

Свойства и применение диэлектрических тонких пленок в технологиях микроэлектроники учебное пособие
по: Васильев В. Ю.
Опубликовано: (Новосибирск, НГТУ, 2021)

Т. 6; Физика тонких пленок. Современное состояние исследований и технические применения
Опубликовано: (1973)

Т. 7; Физика тонких пленок. Современное состояние исследований и технические применения
Опубликовано: (1977)

Features of the Fine Structure of the Active Layers of Organic Solar Cells; Key Engineering Materials; Vol. 712 : Advanced Materials for Technical and Medical Purpose (AMTMP 2016)
Опубликовано: (2016)

Мезомеханика поведения тонких пленок Cu на подложке при одноосном растяжении и термическом отжиге. Многоуровневый подход; Физическая мезомеханика; Т. 8, № 4
Опубликовано: (2005)

Физические методы в исследованиях осаждения и коррозии металлов учебное пособие
по: Виноградова С. С.
Опубликовано: (Казань, КНИТУ, 2014)

Изготовление, модифицирование и исследование материалов биомедицинского назначения: сборник методических указаний
Опубликовано: (Томск, Изд-во ТПУ, 2022)

Влияние легирующей примеси на электронные свойства поверхности углеродных плёнок; Письма в Журнал технической физики; Т. 28, вып. 14
по: Симонов С. В.
Опубликовано: (2002)

Т. 2; II Всесоюзная конференция по высокотемпературной сверхпроводимости
Опубликовано: (1989)

Электронное зондирование сложных окислов металлов
по: Томашпольский Ю. Я. Юрий Яковлевич
Опубликовано: (Москва, Металлургия, 1981)