Синтез и исследование свойств тонких углеродных пленок, полученных методом осаждения в плазме CH4 и последующей термообработкой диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук спец. 1.3.8

Синтез и исследование свойств тонких углеродных пленок, полученных методом осаждения в плазме CH4 и последующей термообработкой, диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук

Bibliographic Details
Main Author:	Прокопьев А. Р. Айсен Русланович
Corporate Author:	Северо-Восточный федеральный университет им. М. К. Аммосова
Other Authors:	Неустроев Е. П. Ефим Петрович (727)
Summary:	Заглавие с титульного экрана Электронная версия печатной публикации Защита сост. 22.11.2023
Published:	Якутск, 2023
Subjects:	электронный ресурс диссертации углеродные пленки тонкие пленки синтез плазменное осаждение отжиг атомы углерода плазма метана аморфные гидрогенизированные пленки термообработка инертные газы твердотельные подложки морфология поверхности электрические свойства оптические свойства атомно-силовая микроскопия сканирующая электронная микроскопия рентгеновская энергодисперсионная спектроскопия спектроскопия комбинационного рассеяния света ультрафиолетовая спектроскопия инфракрасная спектроскопия
Online Access:	https://earchive.tpu.ru/handle/11683/76973
Format:	Electronic Book
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=379272

Internet

https://earchive.tpu.ru/handle/11683/76973