Синтез и исследование свойств тонких углеродных пленок, полученных методом осаждения в плазме CH4 и последующей термообработкой: диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук; спец. 1.3.8

Синтез и исследование свойств тонких углеродных пленок, полученных методом осаждения в плазме CH4 и последующей термообработкой: диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук; спец. 1.3.8

Bibliografische gegevens
Hoofdauteur:	Прокопьев А. Р. Айсен Русланович
Coauteur:	Северо-Восточный федеральный университет им. М. К. Аммосова
Andere auteurs:	Неустроев Е. П. Ефим Петрович (научный руководитель)
Samenvatting:	Заглавие с титульного экрана Электронная версия печатной публикации Защита сост. 22.11.2023
Taal:	Russisch
Gepubliceerd in:	Якутск, 2023
Onderwerpen:	Углеродные пленки, тонкие > Получение электронный ресурс диссертации углеродные пленки тонкие пленки синтез плазменное осаждение отжиг атомы углерода плазма метана аморфные гидрогенизированные пленки термообработка инертные газы твердотельные подложки морфология поверхности электрические свойства оптические свойства атомно-силовая микроскопия сканирующая электронная микроскопия рентгеновская энергодисперсионная спектроскопия спектроскопия комбинационного рассеяния света ультрафиолетовая спектроскопия инфракрасная спектроскопия
Online toegang:	https://earchive.tpu.ru/handle/11683/76973
Formaat:	Elektronisch Boek
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=379272

Internet

https://earchive.tpu.ru/handle/11683/76973