Синтез и исследование свойств тонких углеродных пленок, полученных методом осаждения в плазме CH4 и последующей термообработкой: диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук; спец. 1.3.8

Синтез и исследование свойств тонких углеродных пленок, полученных методом осаждения в плазме CH4 и последующей термообработкой: диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук; спец. 1.3.8

Detaylı Bibliyografya
Yazar:	Прокопьев А. Р. Айсен Русланович
Müşterek Yazar:	Северо-Восточный федеральный университет им. М. К. Аммосова
Diğer Yazarlar:	Неустроев Е. П. Ефим Петрович (научный руководитель)
Özet:	Заглавие с титульного экрана Электронная версия печатной публикации Защита сост. 22.11.2023
Dil:	Rusça
Baskı/Yayın Bilgisi:	Якутск, 2023
Konular:	Углеродные пленки, тонкие > Получение электронный ресурс диссертации углеродные пленки тонкие пленки синтез плазменное осаждение отжиг атомы углерода плазма метана аморфные гидрогенизированные пленки термообработка инертные газы твердотельные подложки морфология поверхности электрические свойства оптические свойства атомно-силовая микроскопия сканирующая электронная микроскопия рентгеновская энергодисперсионная спектроскопия спектроскопия комбинационного рассеяния света ультрафиолетовая спектроскопия инфракрасная спектроскопия
Online Erişim:	https://earchive.tpu.ru/handle/11683/76973
Materyal Türü:	Elektronik Kitap
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=379272

Internet

https://earchive.tpu.ru/handle/11683/76973