Синтез и исследование свойств тонких углеродных пленок, полученных методом осаждения в плазме CH4 и последующей термообработкой: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук; спец. 1.3.8

Bibliografiske detaljer
Hovedforfatter: Прокопьев А. Р. Айсен Русланович
Institution som forfatter: Северо-Восточный федеральный университет им. М. К. Аммосова
Andre forfattere: Неустроев Е. П. Ефим Петрович (научный руководитель)
Summary:Заглавие с титульного экрана
Электронная версия печатной публикации
Защита сост. 22.11.2023
Sprog:russisk
Udgivet: Томск, 2023
Fag:
Online adgang:https://earchive.tpu.ru/handle/11683/76971
Format: Electronisk Bog
KOHA link:https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=379271