Синтез и исследование свойств тонких углеродных пленок, полученных методом осаждения в плазме CH4 и последующей термообработкой: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук; спец. 1.3.8
| Hovedforfatter: | |
|---|---|
| Institution som forfatter: | |
| Andre forfattere: | |
| Summary: | Заглавие с титульного экрана Электронная версия печатной публикации Защита сост. 22.11.2023 |
| Sprog: | russisk |
| Udgivet: |
Томск, 2023
|
| Fag: | |
| Online adgang: | https://earchive.tpu.ru/handle/11683/76971 |
| Format: | Electronisk Bog |
| KOHA link: | https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=379271 |