Синтез и исследование свойств тонких углеродных пленок, полученных методом осаждения в плазме CH4 и последующей термообработкой автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук спец. 1.3.8

Синтез и исследование свойств тонких углеродных пленок, полученных методом осаждения в плазме CH4 и последующей термообработкой, автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук

Bibliographic Details
Main Author:	Прокопьев А. Р. Айсен Русланович
Corporate Author:	Северо-Восточный федеральный университет им. М. К. Аммосова
Other Authors:	Неустроев Е. П. Ефим Петрович (727)
Summary:	Заглавие с титульного экрана Электронная версия печатной публикации Защита сост. 22.11.2023
Published:	Томск, 2023
Subjects:	электронный ресурс авторефераты диссертаций углеродные пленки тонкие пленки синтез плазменное осаждение отжиг атомы углерода плазма метана аморфные гидрогенизированные пленки термообработка инертные газы твердотельные подложки морфология поверхности электрические свойства оптические свойства атомно-силовая микроскопия сканирующая электронная микроскопия рентгеновская энергодисперсионная спектроскопия спектроскопия комбинационного рассеяния света ультрафиолетовая спектроскопия инфракрасная спектроскопия
Online Access:	https://earchive.tpu.ru/handle/11683/76971
Format:	Electronic Book
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=379271

Internet

https://earchive.tpu.ru/handle/11683/76971