Синтез и исследование свойств тонких углеродных пленок, полученных методом осаждения в плазме CH4 и последующей термообработкой: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук; спец. 1.3.8

Մատենագիտական մանրամասներ
Հիմնական հեղինակ:	Прокопьев А. Р. Айсен Русланович
Համատեղ հեղինակ:	Северо-Восточный федеральный университет им. М. К. Аммосова
Այլ հեղինակներ:	Неустроев Е. П. Ефим Петрович (научный руководитель)
Ամփոփում:	Заглавие с титульного экрана Электронная версия печатной публикации Защита сост. 22.11.2023
Լեզու:	ռուսերեն
Հրապարակվել է:	Томск, 2023
Խորագրեր:	Углеродные пленки, тонкие > Получение электронный ресурс авторефераты диссертаций углеродные пленки тонкие пленки синтез плазменное осаждение отжиг атомы углерода плазма метана аморфные гидрогенизированные пленки термообработка инертные газы твердотельные подложки морфология поверхности электрические свойства оптические свойства атомно-силовая микроскопия сканирующая электронная микроскопия рентгеновская энергодисперсионная спектроскопия спектроскопия комбинационного рассеяния света ультрафиолетовая спектроскопия инфракрасная спектроскопия
Առցանց հասանելիություն:	https://earchive.tpu.ru/handle/11683/76971
Ձևաչափ:	Էլեկտրոնային Գիրք
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=379271

MARC


LEADER	00000nlm0a2200000 4500
001	379271
005	20231206121628.0
035			\|a (RuTPU)RU\TPU\retro\36734
035			\|a RU\TPU\retro\36683
090			\|a 379271
100			\|a 20230821d2023 k y0rusy50 ca
101	0		\|a rus
102			\|a RU
105			\|a a dm 000zy
135			\|a drcn ---uucaa
181		0	\|a i
182		0	\|a b
200	1		\|a Синтез и исследование свойств тонких углеродных пленок, полученных методом осаждения в плазме CH4 и последующей термообработкой \|e автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук \|e спец. 1.3.8 \|f А. Р. Прокопьев \|g Северо-Восточный федеральный университет им. М. К. Аммосова ; науч. рук. Е. П. Неустроев
203			\|a Текст \|c электронный
210			\|a Томск \|d 2023
215			\|a 1 файл (714 КБ)
300			\|a Заглавие с титульного экрана
300			\|a Электронная версия печатной публикации
300			\|a Защита сост. 22.11.2023
452		1	\|0 379504 \|9 379504 \|a Прокопьев, А. Р. \|c Томск \|d 2023 \|o автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук \|p 19 с. \|t Синтез и исследование свойств тонких углеродных пленок, полученных методом осаждения в плазме CH4 и последующей термообработкой
606	1		\|a Углеродные пленки, тонкие \|x Получение \|2 stltpush \|3 (RuTPU)RU\TPU\subj\78541 \|9 87849
610	1		\|a электронный ресурс
610	1		\|a авторефераты диссертаций
610	1		\|a углеродные пленки
610	1		\|a тонкие пленки
610	1		\|a синтез
610	1		\|a плазменное осаждение
610	1		\|a отжиг
610	1		\|a атомы углерода
610	1		\|a плазма метана
610	1		\|a аморфные гидрогенизированные пленки
610	1		\|a термообработка
610	1		\|a инертные газы
610	1		\|a твердотельные подложки
610	1		\|a морфология поверхности
610	1		\|a электрические свойства
610	1		\|a оптические свойства
610	1		\|a атомно-силовая микроскопия
610	1		\|a сканирующая электронная микроскопия
610	1		\|a рентгеновская энергодисперсионная спектроскопия
610	1		\|a спектроскопия комбинационного рассеяния света
610	1		\|a ультрафиолетовая спектроскопия
610	1		\|a инфракрасная спектроскопия
675			\|a 539.23(04) \|v 3
686			\|a 01.04.07 \|2 oksvnk
700		1	\|a Прокопьев \|b А. Р. \|g Айсен Русланович
702		1	\|a Неустроев \|b Е. П. \|g Ефим Петрович \|3 (RuTPU)RU\TPU\pers\27873 \|4 727
712	0	2	\|a Северо-Восточный федеральный университет им. М. К. Аммосова \|c (Якутск) \|c (2010- ) \|3 (RuTPU)RU\TPU\col\19952 \|9 27658
801		2	\|a RU \|b 63413507 \|c 20230824 \|g RCR
856	4		\|u https://earchive.tpu.ru/handle/11683/76971
942			\|c CF

MARC

Նմանատիպ նյութեր