Прокопьев А. Р. Айсен Русланович & Неустроев Е. П. Ефим Петрович. (2023). Синтез и исследование свойств тонких углеродных пленок, полученных методом осаждения в плазме CH4 и последующей термообработкой: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук спец. 1.3.8. Томск, 2023.
Style de citation Chicago (17e éd.)Прокопьев А. Р. Айсен Русланович et Неустроев Е. П. Ефим Петрович. Синтез и исследование свойств тонких углеродных пленок, полученных методом осаждения в плазме CH4 и последующей термообработкой: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук спец. 1.3.8. Томск, 2023, 2023.
Style de citation MLA (9e éd.)Прокопьев А. Р. Айсен Русланович et Неустроев Е. П. Ефим Петрович. Синтез и исследование свойств тонких углеродных пленок, полученных методом осаждения в плазме CH4 и последующей термообработкой: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук спец. 1.3.8. Томск, 2023, 2023.