Физико-химия термического окисления кремния в присутствии примесей

Физико-химия термического окисления кремния в присутствии примесей

Manylion Llyfryddiaeth
Prif Awdur:	Миттова И. Я. Ирина Яковлевна
Iaith:	Rwseg
Cyhoeddwyd:	Воронеж, Изд-во Воронежского гос. ун-та, 1987
Pynciau:	Кремний > Окисление физико-химическое обоснование примеси взаимодействие оксиды хлористый водород галогениды химическое осаждение
Fformat:	Llyfr
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=375420

Eitemau Tebyg

Кинетика и механизм термического окисления кремния
gan: Анохин В. З. Валентин Захарович
Cyhoeddwyd: (Воронеж, Изд-во Воронежского ун-та, 1983)

Диаграммы состояния неметаллических систем; Вып. VI : Окислы металлических элементов и кремния
gan: Агеева Д. Л.
Cyhoeddwyd: (Москва, Изд-во ВИНИТИ, 1971)

Исследование применения высокочастотного тока в установке производства поликристаллического кремния; Современные техника и технологии; Т. 3
gan: Козин К. А. Кирилл Андреевич
Cyhoeddwyd: (2010)

Chemische Versuche im Unterricht. Ein Hilfsbuch für die hand des Lehrers; Erster Teil Nichtmetalle
Cyhoeddwyd: (Berlin, Volk und Wissen Volkselgener Verlag, 1956)

Химическое осаждение из газовой фазы, вызываемое ВЧ разрядом: перевод № 18/ЭТ-1269
gan: Стерлинг Х.
Cyhoeddwyd: (Москва, Изд-во ЦНИИТЭиНИ, 1967)

Физико-химические свойства некоторых комплексных соединений кремния и анодное поведение кремния в неводных растворах на их основе: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата химических наук
gan: Алпатова Н. М.
Cyhoeddwyd: (Москва, [Б. и.], 1965)

Т. 6: Соединения селена, теллура, кремния и бора; Общая органическая химия
Cyhoeddwyd: (1984)

Методы получения нанопорошков (обзор); Глобальный научный потенциал; № 1 (46)
gan: Макаров С. В. Сергей Викторович
Cyhoeddwyd: (2015)

Химические технологии в производстве микроэлектромеханических систем учебное пособие для вузов
gan: Родионов Ю. А.
Cyhoeddwyd: (Санкт-Петербург, Лань, 2023)

Получение эпитаксиальных структур кремния с контролируемым примесным профилем
gan: Харченко В. В. Валерий Владимирович
Cyhoeddwyd: (Ташкент, Фан, 1989)

Microstructure of amorphous copper-carbon thin films formed by plasma-enhanced chemical vapor deposition; High Temperature Material Processes: An International Quarterly of High-Technology Plasma Processes; Vol. 20, iss. 2
Cyhoeddwyd: (2016)

Действие галоидангидридов уксусной кислоты на ненасыщенные углеводороды в присутствии солей аллюминия
gan: Крапивин С. Г.
Cyhoeddwyd: (Москва, Типо-литография Товарищества И. Н. КУШНЕРЕВ и К, 1909)

Исследования в области осаждения металлов: сборник статей
Cyhoeddwyd: (Вильнюс, 1988)

Никель-содержащие системы в реакции парциального окисления углеводородов; Известия Томского политехнического университета [Известия ТПУ]; Т. 325, № 3 : Химия и химические технологии
Cyhoeddwyd: (2014)

Ч. 1 : Молекулярная, лазерная эпитаксия. Распределение примесей и дефектов; Рост полупроводниковых кристаллов и пленок
Cyhoeddwyd: (Новосибирск, Наука, 1984)

О зависимости структурных параметров пленок Co от температуры подложки в процессе химического газофазного осаждения; Современное состояние естественных и технических наук
gan: Хайруллин Р. Р. Рустам Равильевич
Cyhoeddwyd: (2014)

Неорганические бескислородные соединения кремния: учебное пособие
gan: Торопов Н. А. Никита Александрович
Cyhoeddwyd: (Ленинград, Изд-во ЛТИ, 1964)

Задачи по общей и неорганической химии: учебное пособие для студентов вузов
gan: Лидин Р. А. Ростислав Александрович
Cyhoeddwyd: (Москва, ВЛАДОС, 2004)

Введение в технологию химического осаждения из газовой фазы тонких пленок для электроники: оборудование, методология, особенности роста учебное пособие для вузов
gan: Васильев В. Ю.
Cyhoeddwyd: (Санкт-Петербург, Лань, 2024)

Тонкие нерганические пленки в микроэлектронике
Cyhoeddwyd: (Ленинград, Наука, 1972)

Использование импульсных электронных пучков в плазмохимии; Известия Томского политехнического университета [Известия ТПУ]; Т. 309, № 2
Cyhoeddwyd: (2006)

Практические работы по химической технологии: учебное пособие для вузов
gan: Соколов Р. С. Ростислав Сергеевич
Cyhoeddwyd: (Москва, Владос, 2004)

Технология материалов микро- и наноэлектроники
Cyhoeddwyd: (Москва, Изд-во МИСиС, 2007)

Металлизация диэлектриков
gan: Ильин В. А. Виталий Алексеевич
Cyhoeddwyd: (Ленинград, Машиностроение, 1977)

Нелинейные эффекты в процессах активированного окисления GaAs: монография
gan: Миттова И. Я. Ирина Яковлевна
Cyhoeddwyd: (Воронеж, Изд-во Воронежского ГУ, 2008)

Improved Dunham coefficients of HCl isotopologues; Proceedings of SPIE; Vol. 10035 : Atmospheric and Ocean Optics: Atmospheric Physics
gan: Velichko T. I.
Cyhoeddwyd: (2016)

Установка для получения поликристаллического кремния
Cyhoeddwyd: ()

Synthesis of bimodal carbon structures via metal dusting of Ni-based alloys; Materials Letters; Vol. 201
Cyhoeddwyd: (2017)

Сравнительный анализ свойств покрытий на основе углерода, полученных различными PVD и CVD методами осаждения; Физико-технические проблемы в науке, промышленности и медицине (ФТПНПМ-2019)
Cyhoeddwyd: (2019)

Химическое осаждение металлов из водных растворов
Cyhoeddwyd: (Минск, Университетское, 1987)

Effects of Film Thickness of ALD-Deposited Al2O3, ZrO2 and HfO2 Nano-Layers on the Corrosion Resistance of Ti(N,O)-Coated Stainless Steel; Materials; Vol. 16, iss. 5
Cyhoeddwyd: (2023)

Исследование взаимодействия гидроксида лантана с хлоридом аммония при нагревании; Химия и химическая технология в XXI веке
gan: Литовкин С. В. Сергей Валерьевич
Cyhoeddwyd: (2017)

Окислительное хлорирование алифатических нефтеполимерных смол; Ползуновский вестник; № 4-1
gan: Бондалетов В. Г. Владимир Григорьевич
Cyhoeddwyd: (2011)

Процессы и аппараты радиоактивных и редких металлов: учебник
gan: Раков Э. Г. Эдуард Григорьевич
Cyhoeddwyd: (Москва, Металлургия, 1993)

Радиационно-химическое обезвреживание растворенных примесей и охрана окружающей среды
gan: Петрухин Н. В. Николай Васильевич
Cyhoeddwyd: (Москва, Энергоатомиздат, 1986)

Коррозионностойкие и жаростойкие материалы. Химическое газофазное осаждение защитных покрытий. Курс лекций
gan: Душик В. В.
Cyhoeddwyd: (Москва, МИСИС, 2013)

Осаждение из газовой фазы: сокр. пер. с англ.
Cyhoeddwyd: (Москва, Атомиздат, 1970)

Установка для получения стержней поликристаллического кремния
Cyhoeddwyd: ()

Т. 2: Технологические аспекты; Введение в процессы интегральных микро- и нанотехнологий
Cyhoeddwyd: (2011)

Ч. 1: Технологические процессы изготовления кремниевых интегральных схем и их моделирование; Технология, конструкции и методы моделирования кремниевых интегральных микросхем
gan: Королев М. А. Михаил Александрович
Cyhoeddwyd: (2009)