Физико-химия термического окисления кремния в присутствии примесей

Физико-химия термического окисления кремния в присутствии примесей

Podrobná bibliografie
Hlavní autor:	Миттова И. Я. Ирина Яковлевна
Jazyk:	ruština
Vydáno:	Воронеж, Изд-во Воронежского гос. ун-та, 1987
Témata:	Кремний > Окисление физико-химическое обоснование примеси взаимодействие оксиды хлористый водород галогениды химическое осаждение
Médium:	Kniha
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=375420

Podobné jednotky

Кинетика и механизм термического окисления кремния
Autor: Анохин В. З. Валентин Захарович
Vydáno: (Воронеж, Изд-во Воронежского ун-та, 1983)

Диаграммы состояния неметаллических систем; Вып. VI : Окислы металлических элементов и кремния
Autor: Агеева Д. Л.
Vydáno: (Москва, Изд-во ВИНИТИ, 1971)

Исследование применения высокочастотного тока в установке производства поликристаллического кремния; Современные техника и технологии; Т. 3
Autor: Козин К. А. Кирилл Андреевич
Vydáno: (2010)

Химическое осаждение из газовой фазы, вызываемое ВЧ разрядом: перевод № 18/ЭТ-1269
Autor: Стерлинг Х.
Vydáno: (Москва, Изд-во ЦНИИТЭиНИ, 1967)

Chemische Versuche im Unterricht. Ein Hilfsbuch für die hand des Lehrers; Erster Teil Nichtmetalle
Vydáno: (Berlin, Volk und Wissen Volkselgener Verlag, 1956)

Физико-химические свойства некоторых комплексных соединений кремния и анодное поведение кремния в неводных растворах на их основе: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата химических наук
Autor: Алпатова Н. М.
Vydáno: (Москва, [Б. и.], 1965)

Т. 6: Соединения селена, теллура, кремния и бора; Общая органическая химия
Vydáno: (1984)

Методы получения нанопорошков (обзор); Глобальный научный потенциал; № 1 (46)
Autor: Макаров С. В. Сергей Викторович
Vydáno: (2015)

Химические технологии в производстве микроэлектромеханических систем учебное пособие для вузов
Autor: Родионов Ю. А.
Vydáno: (Санкт-Петербург, Лань, 2023)

Microstructure of amorphous copper-carbon thin films formed by plasma-enhanced chemical vapor deposition; High Temperature Material Processes: An International Quarterly of High-Technology Plasma Processes; Vol. 20, iss. 2
Vydáno: (2016)

Получение эпитаксиальных структур кремния с контролируемым примесным профилем
Autor: Харченко В. В. Валерий Владимирович
Vydáno: (Ташкент, Фан, 1989)

Действие галоидангидридов уксусной кислоты на ненасыщенные углеводороды в присутствии солей аллюминия
Autor: Крапивин С. Г.
Vydáno: (Москва, Типо-литография Товарищества И. Н. КУШНЕРЕВ и К, 1909)

Исследования в области осаждения металлов: сборник статей
Vydáno: (Вильнюс, 1988)

Никель-содержащие системы в реакции парциального окисления углеводородов; Известия Томского политехнического университета [Известия ТПУ]; Т. 325, № 3 : Химия и химические технологии
Vydáno: (2014)

Ч. 1 : Молекулярная, лазерная эпитаксия. Распределение примесей и дефектов; Рост полупроводниковых кристаллов и пленок
Vydáno: (Новосибирск, Наука, 1984)

О зависимости структурных параметров пленок Co от температуры подложки в процессе химического газофазного осаждения; Современное состояние естественных и технических наук
Autor: Хайруллин Р. Р. Рустам Равильевич
Vydáno: (2014)

Неорганические бескислородные соединения кремния: учебное пособие
Autor: Торопов Н. А. Никита Александрович
Vydáno: (Ленинград, Изд-во ЛТИ, 1964)

Нелинейные эффекты в процессах активированного окисления GaAs: монография
Autor: Миттова И. Я. Ирина Яковлевна
Vydáno: (Воронеж, Изд-во Воронежского ГУ, 2008)

Тонкие нерганические пленки в микроэлектронике
Vydáno: (Ленинград, Наука, 1972)

Введение в технологию химического осаждения из газовой фазы тонких пленок для электроники: оборудование, методология, особенности роста учебное пособие для вузов
Autor: Васильев В. Ю.
Vydáno: (Санкт-Петербург, Лань, 2024)

Металлизация диэлектриков
Autor: Ильин В. А. Виталий Алексеевич
Vydáno: (Ленинград, Машиностроение, 1977)

Использование импульсных электронных пучков в плазмохимии; Известия Томского политехнического университета [Известия ТПУ]; Т. 309, № 2
Vydáno: (2006)

Задачи по общей и неорганической химии: учебное пособие для студентов вузов
Autor: Лидин Р. А. Ростислав Александрович
Vydáno: (Москва, ВЛАДОС, 2004)

Практические работы по химической технологии: учебное пособие для вузов
Autor: Соколов Р. С. Ростислав Сергеевич
Vydáno: (Москва, Владос, 2004)

Improved Dunham coefficients of HCl isotopologues; Proceedings of SPIE; Vol. 10035 : Atmospheric and Ocean Optics: Atmospheric Physics
Autor: Velichko T. I.
Vydáno: (2016)

Установка для получения поликристаллического кремния
Vydáno: ()

Synthesis of bimodal carbon structures via metal dusting of Ni-based alloys; Materials Letters; Vol. 201
Vydáno: (2017)

Технология материалов микро- и наноэлектроники
Vydáno: (Москва, Изд-во МИСиС, 2007)

Химическое осаждение металлов из водных растворов
Vydáno: (Минск, Университетское, 1987)

Сравнительный анализ свойств покрытий на основе углерода, полученных различными PVD и CVD методами осаждения; Физико-технические проблемы в науке, промышленности и медицине (ФТПНПМ-2019)
Vydáno: (2019)

Исследование взаимодействия гидроксида лантана с хлоридом аммония при нагревании; Химия и химическая технология в XXI веке
Autor: Литовкин С. В. Сергей Валерьевич
Vydáno: (2017)

Окислительное хлорирование алифатических нефтеполимерных смол; Ползуновский вестник; № 4-1
Autor: Бондалетов В. Г. Владимир Григорьевич
Vydáno: (2011)

Коррозионностойкие и жаростойкие материалы. Химическое газофазное осаждение защитных покрытий. Курс лекций
Autor: Душик В. В.
Vydáno: (Москва, МИСИС, 2013)

Радиационно-химическое обезвреживание растворенных примесей и охрана окружающей среды
Autor: Петрухин Н. В. Николай Васильевич
Vydáno: (Москва, Энергоатомиздат, 1986)

Effects of Film Thickness of ALD-Deposited Al2O3, ZrO2 and HfO2 Nano-Layers on the Corrosion Resistance of Ti(N,O)-Coated Stainless Steel; Materials; Vol. 16, iss. 5
Vydáno: (2023)

Установка для получения стержней поликристаллического кремния
Vydáno: ()

Осаждение из газовой фазы: сокр. пер. с англ.
Vydáno: (Москва, Атомиздат, 1970)

Процессы и аппараты радиоактивных и редких металлов: учебник
Autor: Раков Э. Г. Эдуард Григорьевич
Vydáno: (Москва, Металлургия, 1993)

Influence of synthesis conditions on the crystallinity of hydroxyapatite obtained by chemical deposition; IOP Conference Series: Materials Science and Engineering; Vol. 156 : Materials and Technologies of New Generations in Modern Materials Science
Vydáno: (2016)

Порошки ZrO2(Y2O3), полученные химическим осаждением и плазмохимическим синтезом, и материалы на их основе; Современные техника и технологии; Т. 3
Autor: Асташова Т. А.
Vydáno: (2013)