Физико-химия термического окисления кремния в присутствии примесей
| Main Author: | |
|---|---|
| Published: |
Воронеж, Изд-во Воронежского гос. ун-та, 1987
|
| Subjects: | |
| Format: | Book |
| KOHA link: | https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=375420 |