Физико-химия термического окисления кремния в присутствии примесей

מידע ביבליוגרפי
מחבר ראשי:	Миттова И. Я. Ирина Яковлевна
שפה:	רוסית
יצא לאור:	Воронеж, Изд-во Воронежского гос. ун-та, 1987
נושאים:	Кремний > Окисление физико-химическое обоснование примеси взаимодействие оксиды хлористый водород галогениды химическое осаждение
פורמט:	ספר
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=375420

פריטים דומים