|
|
|
|
| LEADER |
00000nam0a2200000 4500 |
| 001 |
375420 |
| 005 |
20231102012731.0 |
| 035 |
|
|
|a (RuTPU)RU\TPU\retro\32859
|
| 035 |
|
|
|a RU\TPU\book\279078
|
| 090 |
|
|
|a 375420
|
| 100 |
|
|
|a 20221220d1987 k y0rusy50 ca
|
| 101 |
0 |
|
|a rus
|
| 102 |
|
|
|a RU
|
| 105 |
|
|
|a a z 001zy
|
| 200 |
1 |
|
|a Физико-химия термического окисления кремния в присутствии примесей
|f И. Я. Миттова
|
| 210 |
|
|
|a Воронеж
|c Изд-во Воронежского гос. ун-та
|d 1987
|
| 215 |
|
|
|a 200 с.
|c ил.
|
| 320 |
|
|
|a Библиогр.: с. 188-196.
|
| 606 |
1 |
|
|a Кремний
|x Окисление
|2 stltpush
|3 (RuTPU)RU\TPU\subj\16164
|9 42333
|
| 610 |
1 |
|
|a физико-химическое обоснование
|
| 610 |
1 |
|
|a примеси
|
| 610 |
1 |
|
|a взаимодействие
|
| 610 |
1 |
|
|a оксиды
|
| 610 |
1 |
|
|a хлористый водород
|
| 610 |
1 |
|
|a галогениды
|
| 610 |
1 |
|
|a химическое осаждение
|
| 675 |
|
|
|a 546.28
|v 3
|
| 700 |
|
1 |
|a Миттова
|b И. Я.
|g Ирина Яковлевна
|
| 801 |
|
1 |
|a RU
|b 63413507
|c 20140408
|
| 801 |
|
2 |
|a RU
|b 63413507
|c 20221220
|g RCR
|
| 942 |
|
|
|c BK
|
