• English
    • Deutsch
    • Español
    • Français
    • Italiano
    • 日本語
    • Nederlands
    • Português
    • Português (Brasil)
    • 中文(简体)
    • 中文(繁體)
    • Türkçe
    • עברית
    • Gaeilge
    • Cymraeg
    • Ελληνικά
    • Català
    • Euskara
    • Русский
    • Čeština
    • Suomi
    • Svenska
    • polski
    • Dansk
    • slovenščina
    • اللغة العربية
    • বাংলা
    • Galego
    • Tiếng Việt
    • Hrvatski
    • हिंदी
    • Հայերէն
    • Українська
Avanzado
  • Физико-химия термического окис...
  • Citar
  • Text this
  • Enviar este rexistro por email
  • Imprimir
  • Exportar rexistro
    • Exportar a RefWorks
    • Exportar a EndNoteWeb
    • Exportar a EndNote
  • Permanent link
Физико-химия термического окисления кремния в присутствии примесей

Физико-химия термического окисления кремния в присутствии примесей

Detalles Bibliográficos
Autor Principal: Миттова И. Я. Ирина Яковлевна
Idioma:ruso
Publicado: Воронеж, Изд-во Воронежского гос. ун-та, 1987
Subjects:
Кремний > Окисление
физико-химическое обоснование
примеси
взаимодействие
оксиды
хлористый водород
галогениды
химическое осаждение
Formato: Libro
KOHA link:https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=375420
  • Existencias
  • Descripción
  • Títulos similares
  • Staff View
Descripción
Descrición Física:200 с. ил.

Títulos similares

  • Кинетика и механизм термического окисления кремния
    por: Анохин В. З. Валентин Захарович
    Publicado: (Воронеж, Изд-во Воронежского ун-та, 1983)
  • Диаграммы состояния неметаллических систем; Вып. VI : Окислы металлических элементов и кремния
    por: Агеева Д. Л.
    Publicado: (Москва, Изд-во ВИНИТИ, 1971)
  • Исследование применения высокочастотного тока в установке производства поликристаллического кремния; Современные техника и технологии; Т. 3
    por: Козин К. А. Кирилл Андреевич
    Publicado: (2010)
  • Химическое осаждение из газовой фазы, вызываемое ВЧ разрядом: перевод № 18/ЭТ-1269
    por: Стерлинг Х.
    Publicado: (Москва, Изд-во ЦНИИТЭиНИ, 1967)
  • Chemische Versuche im Unterricht. Ein Hilfsbuch für die hand des Lehrers; Erster Teil Nichtmetalle
    Publicado: (Berlin, Volk und Wissen Volkselgener Verlag, 1956)