|
|
|
|
| LEADER |
00000nam0a2200000 4500 |
| 001 |
370651 |
| 005 |
20231102012312.0 |
| 035 |
|
|
|a (RuTPU)RU\TPU\retro\28060
|
| 090 |
|
|
|a 370651
|
| 100 |
|
|
|a 20220721d1978 km y0rusy50 ca
|
| 101 |
0 |
|
|a rus
|
| 102 |
|
|
|a RU
|
| 105 |
|
|
|a a z 001zy
|
| 200 |
1 |
|
|a Методы контроля нарушенных слоев при механической обработке монокристаллов
|f А. И. Татаренков, К. Л. Енишерлова, Т. Ф. Русак, В. Н. Гриднев
|
| 210 |
|
|
|a Москва
|c Энергия
|d 1978
|
| 215 |
|
|
|a 64 с.
|c ил.
|
| 225 |
1 |
|
|a Библиотека технолога радиоэлектронной аппаратуры
|v Вып. 13
|
| 320 |
|
|
|a Библиогр.: с. 59-63
|
| 606 |
1 |
|
|a Полупроводниковые приборы
|x Производство
|2 stltpush
|3 (RuTPU)RU\TPU\subj\50692
|9 69343
|
| 610 |
1 |
|
|a хрупкие монокристаллы
|
| 610 |
1 |
|
|a абразивное разрушение
|
| 610 |
1 |
|
|a нарушенные слои
|
| 610 |
1 |
|
|a структура
|
| 610 |
1 |
|
|a глубина
|
| 610 |
1 |
|
|a исследование
|
| 610 |
1 |
|
|a подложки
|
| 610 |
1 |
|
|a пленки
|
| 610 |
1 |
|
|a электрофизические параметры
|
| 675 |
|
|
|a 621.382.002
|v 4
|
| 701 |
|
1 |
|a Татаренков
|b А. И.
|g Алексей Иванович
|
| 701 |
|
1 |
|a Енишерлова
|b К. Л.
|g Кира Львовна
|
| 701 |
|
1 |
|a Русак
|b Т. Ф.
|g Татьяна Федоровна
|
| 701 |
|
1 |
|a Гриднев
|b В. Н.
|g Владимир Николаевич
|
| 801 |
|
1 |
|a RU
|b 63413507
|c 20220721
|
| 942 |
|
|
|c BK
|
