Методы контроля нарушенных слоев при механической обработке монокристаллов

Bibliographic Details
Other Authors:	Татаренков А. И. Алексей Иванович, Енишерлова К. Л. Кира Львовна, Русак Т. Ф. Татьяна Федоровна, Гриднев В. Н. Владимир Николаевич
Published:	Москва, Энергия, 1978
Series:	Библиотека технолога радиоэлектронной аппаратуры Вып. 13
Subjects:	хрупкие монокристаллы абразивное разрушение нарушенные слои структура глубина исследование подложки пленки электрофизические параметры
Format:	Book
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=370651

Similar Items