Массоперенос в тонких пленках

التفاصيل البيبلوغرافية
المؤلف الرئيسي:	Колешко В. М. Владимир Михайлович
مؤلف مشترك:	Академия наук Белорусской ССР Институт электроники
مؤلفون آخرون:	Белицкий В. Ф. Владимир Фомич
اللغة:	الروسية
منشور في:	Минск, Наука и техника, 1980
الموضوعات:	Пленки тонкие > Массоперенос металлические пленки микроэлектроника получение диффузия предотвращение полупроводники интегральные микросхемы
التنسيق:	كتاب
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=362502

مواد مشابهة