Массоперенос в тонких пленках

Bibliographic Details
Main Author:	Колешко В. М. Владимир Михайлович
Corporate Author:	Академия наук Белорусской ССР Институт электроники
Other Authors:	Белицкий В. Ф. Владимир Фомич
Published:	Минск, Наука и техника, 1980
Subjects:	металлические пленки микроэлектроника получение диффузия предотвращение полупроводники интегральные микросхемы
Format:	Book
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=362502

Similar Items