MARC

LEADER 00000nam0a2200000 4500
001 361748
005 20231102011423.0
035 |a (RuTPU)RU\TPU\retro\19094 
090 |a 361748 
100 |a 20210701d1980 m y0rusy50 ca 
101 0 |a rus 
102 |a RU 
105 |a a j 001zy 
200 1 |a Вакуумно-термические процессы в полупроводниковом производстве  |e учебник для среднего профессионально-технического образования  |f О. С. Моряков 
205 |a 2-е изд., перераб. и доп. 
210 |a Москва  |c Высшая школа  |d 1980 
215 |a 182 с.  |c ил. 
225 1 |a Профтехобразование. Полупроводники 
320 |a Библиогр.: с. 178. 
606 1 |a Полупроводниковые приборы  |x Производство  |2 stltpush  |3 (RuTPU)RU\TPU\subj\50692  |9 69343 
610 1 |a термические процессы 
610 1 |a вакуумные процессы 
610 1 |a учебники 
610 1 |a производственная гигиена 
610 1 |a полупроводниковые материалы 
610 1 |a электронно-дырочные переходы 
610 1 |a сплавливание 
610 1 |a примеси 
610 1 |a диффузии 
610 1 |a электрофизические методы 
610 1 |a металлизация 
610 1 |a корпуса 
610 1 |a сборка 
610 1 |a герметизация 
675 |a 621.382.002(075.3)  |v 4 
700 1 |a Моряков  |b О. С.  |g Олег Сергеевич 
801 1 |a RU  |b 63413507  |c 20210701 
801 2 |a RU  |b 63413507  |c 20210701  |g RCR 
942 |c BK