Вакуумно-термические процессы в полупроводниковом производстве, учебник для среднего профессионально-технического образования
| Hovedforfatter: | |
|---|---|
| Udgivet: |
Москва, Высшая школа, 1980
|
| Udgivelse: | 2-е изд., перераб. и доп. |
| Serier: | Профтехобразование. Полупроводники |
| Fag: | |
| Format: | Bog |
| KOHA link: | https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=361748 |