Вакуумно-термические процессы в полупроводниковом производстве, учебник для среднего профессионально-технического образования
| Main Author: | |
|---|---|
| Published: |
Москва, Высшая школа, 1980
|
| Edition: | 2-е изд., перераб. и доп. |
| Series: | Профтехобразование. Полупроводники |
| Subjects: | |
| Format: | Book |
| KOHA link: | https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=361748 |
| Physical Description: | 182 с. ил. |
|---|