Моряков О. С. Олег Сергеевич. (1980). Вакуумно-термические процессы в полупроводниковом производстве: учебник для среднего профессионально-технического образования (2-е изд., перераб. и доп.). Москва, Высшая школа, 1980.
Chicago-viite (17. p.)Моряков О. С. Олег Сергеевич. Вакуумно-термические процессы в полупроводниковом производстве: учебник для среднего профессионально-технического образования. 2-е изд., перераб. и доп. Москва, Высшая школа, 1980, 1980.
MLA-viite (9. p.)Моряков О. С. Олег Сергеевич. Вакуумно-термические процессы в полупроводниковом производстве: учебник для среднего профессионально-технического образования. 2-е изд., перераб. и доп. Москва, Высшая школа, 1980, 1980.
Varoitus: Nämä viitteet eivät aina ole täysin luotettavia.