|
|
|
|
| LEADER |
00000nbm0a2200000 4500 |
| 001 |
352470 |
| 005 |
20231102010512.0 |
| 035 |
|
|
|a (RuTPU)RU\TPU\retro\9022
|
| 090 |
|
|
|a 352470
|
| 100 |
|
|
|a 20191227d1973 k y0rusy50 ca
|
| 101 |
0 |
|
|a rus
|
| 102 |
|
|
|a RU
|
| 105 |
|
|
|a a m 001zy
|
| 200 |
1 |
|
|a Исследование физико-химических свойств пленок боросиликатного стекла и процессов, происходящих при электрическом пробое в системе W -БСС - Si
|e диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук
|e спец. 05.12.11
|f С. Ш. Щерб
|g Томский институт автоматизированных систем управления и радиоэлектроники (ТИАСУР) ; науч. рук. Э. А. Аринштейн, В. Г. Столярчук
|
| 210 |
|
|
|a Томск
|c [Б. и.]
|d 1973
|
| 215 |
|
|
|a 148 л.
|c ил.
|
| 320 |
|
|
|a Библиогр.: с. 130-140 (204 назв.)
|
| 371 |
0 |
|
|a For_staff_use
|
| 606 |
1 |
|
|a Диэлектрики
|x Химия
|x (электроизоляционные материалы)
|2 stltpush
|3 (RuTPU)RU\TPU\subj\68647
|9 83840
|
| 610 |
1 |
|
|a двуокись кремния
|
| 610 |
1 |
|
|a пленки
|
| 610 |
1 |
|
|a получение
|
| 610 |
1 |
|
|a МОП-структуры
|
| 610 |
1 |
|
|a кривые
|
| 610 |
1 |
|
|a C-V характеристика
|
| 610 |
1 |
|
|a пробой
|
| 610 |
1 |
|
|a термодинамика
|
| 610 |
1 |
|
|a боросиликатное стекло
|
| 610 |
1 |
|
|a состав
|
| 610 |
1 |
|
|a получение
|
| 610 |
1 |
|
|a вольт-амперные характеристики
|
| 610 |
1 |
|
|a p-n переходы
|
| 610 |
1 |
|
|a диссертации
|
| 675 |
|
|
|a 621.315.61:54(04)
|v 4
|
| 686 |
|
|
|a 05.12.11
|2 oksvnk
|
| 700 |
|
1 |
|a Щерб
|b С. Ш.
|
| 702 |
|
1 |
|a Аринштейн
|b Э. А.
|4 727
|
| 702 |
|
1 |
|a Столярчук
|b В. Г.
|4 727
|
| 712 |
0 |
2 |
|a Томский институт автоматизированных систем управления и радиоэлектроники (ТИАСУР)
|c (1971-1993)
|2 stltpush
|3 (RuTPU)RU\TPU\col\3065
|
| 801 |
|
1 |
|a RU
|b 63413507
|c 20191227
|
| 942 |
|
|
|c BK
|
