Исследование физико-химических свойств пленок боросиликатного стекла и процессов, происходящих при электрическом пробое в системе W -БСС - Si диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук спец. 05.12.11

Исследование физико-химических свойств пленок боросиликатного стекла и процессов, происходящих при электрическом пробое в системе W -БСС - Si, диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук спец. 05.12.11

Bibliographic Details
Main Author: Щерб С. Ш.
Corporate Author: Томский институт автоматизированных систем управления и радиоэлектроники (ТИАСУР)
Other Authors: Аринштейн Э. А. (727), Столярчук В. Г.
Summary:For_staff_use
Language:Russian
Published: Томск, [Б. и.], 1973
Subjects:
Диэлектрики > Химия > (электроизоляционные материалы)
двуокись кремния
пленки
получение
МОП-структуры
кривые
C-V характеристика
пробой
термодинамика
боросиликатное стекло
состав
вольт-амперные характеристики
p-n переходы
диссертации
Format: Book
KOHA link:https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=352470

Similar Items