Исследование реактивно распыленных диэлектрических пленок в МДП-структурах: диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук

Исследование реактивно распыленных диэлектрических пленок в МДП-структурах: диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук

Dettagli Bibliografici
Autore principale:	Шандра З. А.
Ente Autore:	Томский институт автоматизированных систем управления и радиоэлектроники (ТИАСУР)
Altri autori:	Воробьев Г. А. Григорий Абрамович (научный руководитель), Нахмансон Р. С.
Riassunto:	For_staff_use
Lingua:	russo
Pubblicazione:	Томск, [Б. и.], 1972
Soggetti:	МДП-структуры диэлектрические пленки синтез металл-диэлектрики-полупроводники напыление поверхности ионное травление диссертации
Natura:	Libro
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=352440

Documenti analoghi

МДП-структуры: учебное пособие
di: Сокольников А. В. Анатолий Владимирович
Pubblicazione: (Саранск, Изд-во Мордовского ун-та, 1986)

Особенности измерения диэлектрической проницаемости тонких пленок МДП-структур; Вестник науки Сибири; № 1 (1)
Pubblicazione: (2011)

Пробой тонких диэлектрических пленок
di: Воробьев Г. А. Григорий Абрамович
Pubblicazione: (Москва, Советское радио, 1977)

Физика МДП-структур: учебное пособие
di: Сыноров В. Ф. Владимир Федорович
Pubblicazione: (Воронеж, Изд-во Воронеж. ун-та, 1989)

Фотоэлектрические МДП-приборы
di: Зуев В. А. Владимир Алексеевич
Pubblicazione: (Москва, Радио и связь, 1983)

Травление углеродных покрытий в плазме водорода; Водород. Технологии. Будущее
Pubblicazione: (2021)

Исследование процесса термического напыления тонких металлических пленок учебно-методическое пособие
di: Владимирова Л. Н.
Pubblicazione: (Воронеж, ВГУ, 2019)

Программа расчета параметров МДП-структуры по методу Термана; Известия Томского политехнического университета [Известия ТПУ]; Т. 309, № 8
di: Давыдов В. Н.
Pubblicazione: (2006)

Рост пленок: учебное пособие
di: Иевлев В. М. Валентин Михайлович
Pubblicazione: (Воронеж, [Б. и.], 1982)

Оптические свойства тонких диэлектрических пленок учебное пособие
di: Твердохлеб П. Е.
Pubblicazione: (Новосибирск, НГТУ, 2019)

Высокотемпературные квантовые гальваномагнитные эффекты в двумерных инверсионных слоях МДП-транзисторов
di: Якимаха А. Л. Александр Леонтьевич
Pubblicazione: (Киев, Выща школа, 1989)

Т. 2: Технологические аспекты; Введение в процессы интегральных микро- и нанотехнологий
Pubblicazione: (2011)

Ионно-плазменные процессы в тонкопленочной технологии
di: Берлин Е. В. Евгений Владимирович
Pubblicazione: (Москва, Техносфера, 2010)

Фотоэлектрические МДП-структуры из узкозонных полупроводников
di: Войцеховский А. В. Александр Васильевич
Pubblicazione: (Томск, Радио и связь, 1990)

Вып. 16; Диэлектрики и полупроводники
Pubblicazione: (1979)

Динамические элементы ЭВМ со структурой МДП
di: Караханян Э. Р. Эдуард Рафаэльевич
Pubblicazione: (Москва, Советское радио, 1979)

Строение и электронная структура аморфных диэлектриков в кремниевых МДП структурах
di: Гриценко В. А. Владимир Алексеевич
Pubblicazione: (Новосибирск, Наука, 1993)

The Research of Diamond Coatings Morphology Evolution under the Action of Reactive Ion Etching in Perpendicular Direction; Key Engineering Materials; Vol. 712 : Advanced Materials for Technical and Medical Purpose (AMTMP 2016)
di: Okhotnikov V. V. Vitaly Vladimirovich
Pubblicazione: (2016)

Технология производства микроэлектронных устройств: учебник
di: Малышева И. А. Идея Александровна
Pubblicazione: (Москва, Энергия, 1980)

Вып. 17; Диэлектрики и полупроводники
Pubblicazione: (1980)

Секция: Электрофизические процессы в многокомпонентных диэлектриках, в том числе изоляционных материалах; Физика диэлектриков и новые области их применения
Pubblicazione: (1978)

Электрофизические свойства полупроводниковых и диэлектрических материалов. Полупроводниковые материалы IX
Pubblicazione: (Таллин, Изд-во ТПИ, 1988)

Проводники и диэлектрики в электростатическом поле учебно-методическое пособие
di: Архипов В. П.
Pubblicazione: (Казань, КНИТУ, 2023)

Research of reactive ion and plasma-chemical etching effect on diamond coating surface morphology; AIP Conference Proceedings; Vol. 1772 : Prospects of Fundamental Sciences Development (PFSD-2016)
di: Okhotnikov V. V. Vitaly Vladimirovich
Pubblicazione: (2016)

Ч. 1; Процессы роста и синтеза полупроводниковых кристаллов и пленок
Pubblicazione: (1975)

Физика диэлектрических материалов
di: Тареев Б. М. Борис Михайлович
Pubblicazione: (Москва, Энергия, 1973)

Электронные процессы в полупроводниках с областями пространственного заряда
di: Овсюк В. Н. Виктор Николаевич
Pubblicazione: (Новосибирск, Наука, 1984)

Пленки оксидов редкоземельных элементов в МДМ- и МДП-структурах
Pubblicazione: (Саратов, Изд-во Саратовского ун-та, 1983)

Ч. 2; Процессы роста и синтеза полупроводниковых кристаллов и пленок
Pubblicazione: (1975)

Измерение сопротивления контактов металл-полупроводник и контроль удельного сопротивления полупроводниковых пленок; Известия вузов. Физика; Т. 46, № 7
di: Филлипов В. В.
Pubblicazione: (2003)

Тонкие плёнки с разупорядоченной структурой для электроники; Современные техника и технологии
di: Калистратов С. В.
Pubblicazione: (2000)

Электродинамика метаматериалов: пер. с англ.
di: Сарычев А. К. Андрей К.
Pubblicazione: (Москва, Научный мир, 2011)

Динамические интегральные схемы памяти с МДП структурой
di: Караханян Э. Р. Эдуард Рафаэльевич
Pubblicazione: (Москва, Радио и связь, 1984)

Фазовый переход металл-полупроводник и его применение
di: Бугаев А. А. Алексей Алексеевич
Pubblicazione: (Ленинград, Наука, 1979)

Физика диэлектрических материалов: пер. с рус.
di: Тареев Б. М. Борис Михайлович
Pubblicazione: (Москва, Мир, 1979)

Распыление под действием бомбардировки частицами; Вып. 3; Характеристики распыленных частиц, применения в технике
Pubblicazione: (Москва, Мир, 1998)

Применение низкотемпературной плазмы для нанесения тонких пленок
di: Данилин Б. С. Борис Степанович
Pubblicazione: (Москва, Энергоатомиздат, 1989)

Неравновесные приповерхностные процессы в полупроводниках и полупроводниковых приборах
di: Зуев В. А. Владимир Алексеевич
Pubblicazione: (Москва, Советское радио, 1977)

Цифровые интегральные схемы на МДП-транзисторах
di: Валиев К. А. Камиль Ахметович
Pubblicazione: (Москва, Советское радио, 1971)

Электронные процессы в ионно- модифицированных слоях диэлектрических материалов
di: Пичугин В. Ф. Владимир Федорович
Pubblicazione: (Томск, Изд-во ТПУ, 2010)