Исследование реактивно распыленных диэлектрических пленок в МДП-структурах: диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук

التفاصيل البيبلوغرافية
المؤلف الرئيسي:	Шандра З. А.
مؤلف مشترك:	Томский институт автоматизированных систем управления и радиоэлектроники (ТИАСУР)
مؤلفون آخرون:	Воробьев Г. А. Григорий Абрамович (научный руководитель), Нахмансон Р. С.
الملخص:	For_staff_use
اللغة:	الروسية
منشور في:	Томск, [Б. и.], 1972
الموضوعات:	МДП-структуры диэлектрические пленки синтез металл-диэлектрики-полупроводники напыление поверхности ионное травление диссертации
التنسيق:	كتاب
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=352440

مواد مشابهة