Исследование реактивно распыленных диэлектрических пленок в МДП-структурах: диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук

Исследование реактивно распыленных диэлектрических пленок в МДП-структурах: диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук

Bibliographic Details
Main Author: Шандра З. А.
Corporate Author: Томский институт автоматизированных систем управления и радиоэлектроники (ТИАСУР)
Other Authors: Воробьев Г. А. Григорий Абрамович (научный руководитель), Нахмансон Р. С.
Summary:For_staff_use
Language:Russian
Published: Томск, [Б. и.], 1972
Subjects:
МДП-структуры
диэлектрические пленки
синтез
металл-диэлектрики-полупроводники
напыление
поверхности
ионное травление
диссертации
Format: Book
KOHA link:https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=352440

Similar Items