Исследование реактивно распыленных диэлектрических пленок в МДП-структурах: диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук

書目詳細資料
主要作者:	Шандра З. А.
企業作者:	Томский институт автоматизированных систем управления и радиоэлектроники (ТИАСУР)
其他作者:	Воробьев Г. А. Григорий Абрамович (научный руководитель), Нахмансон Р. С.
總結:	For_staff_use
語言:	俄语
出版:	Томск, [Б. и.], 1972
主題:	МДП-структуры диэлектрические пленки синтез металл-диэлектрики-полупроводники напыление поверхности ионное травление диссертации
格式:	MixedMaterials 圖書
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=352440

相似書籍