|
|
|
|
| LEADER |
00000nbm0a2200000 4500 |
| 001 |
352440 |
| 005 |
20231102010511.0 |
| 035 |
|
|
|a (RuTPU)RU\TPU\retro\8990
|
| 090 |
|
|
|a 352440
|
| 100 |
|
|
|a 20191225d1972 k y0rusy50 ca
|
| 101 |
0 |
|
|a rus
|
| 102 |
|
|
|a RU
|
| 105 |
|
|
|a a m 001zy
|
| 200 |
1 |
|
|a Исследование реактивно распыленных диэлектрических пленок в МДП-структурах
|e диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук
|f З. А. Шандра
|g Томский институт автоматизированных систем управления и радиоэлектроники (ТИАСУР) ; науч. рук. Г. А. Воробьев, Р. С. Нахмансон
|
| 210 |
|
|
|a Томск
|c [Б. и.]
|d 1972
|
| 215 |
|
|
|a 184 л.
|c ил.
|
| 320 |
|
|
|a Библиогр.: с. 172-184 (188 назв.)
|
| 371 |
0 |
|
|a For_staff_use
|
| 606 |
1 |
|
|a МДП-структуры
|2 stltpush
|3 (RuTPU)RU\TPU\subj\41760
|9 61545
|
| 610 |
1 |
|
|a диэлектрические пленки
|
| 610 |
1 |
|
|a синтез
|
| 610 |
1 |
|
|a металл-диэлектрики-полупроводники
|
| 610 |
1 |
|
|a напыление
|
| 610 |
1 |
|
|a поверхности
|
| 610 |
1 |
|
|a ионное травление
|
| 610 |
1 |
|
|a диссертации
|
| 675 |
|
|
|a 621.382.01(04)
|v 4
|
| 700 |
|
1 |
|a Шандра
|b З. А.
|
| 702 |
|
1 |
|a Воробьев
|b Г. А.
|c российский ученый, электрофизик
|c профессор кафедры техники высоких напряжений Томского политехнического института
|c профессор Томского университета систем управления и радиоэлектроники
|f 1925-2009
|g Григорий Абрамович
|2 stltpush
|3 (RuTPU)RU\TPU\pers\19775
|4 727
|
| 702 |
|
1 |
|a Нахмансон
|b Р. С.
|4 727
|
| 712 |
0 |
2 |
|a Томский институт автоматизированных систем управления и радиоэлектроники (ТИАСУР)
|c (1971-1993)
|2 stltpush
|3 (RuTPU)RU\TPU\col\3065
|
| 801 |
|
1 |
|a RU
|b 63413507
|c 20191225
|
| 942 |
|
|
|c BK
|
