Исследование реактивно распыленных диэлектрических пленок в МДП-структурах диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук

Исследование реактивно распыленных диэлектрических пленок в МДП-структурах, диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук

Chi tiết về thư mục
Tác giả chính: Шандра З. А.
Tác giả của công ty: Томский институт автоматизированных систем управления и радиоэлектроники (ТИАСУР)
Tác giả khác: Воробьев Г. А. Григорий Абрамович (727), Нахмансон Р. С.
Tóm tắt:For_staff_use
Được phát hành: Томск, [Б. и.], 1972
Những chủ đề:
диэлектрические пленки
синтез
металл-диэлектрики-полупроводники
напыление
поверхности
ионное травление
диссертации
Định dạng: Sách
KOHA link:https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=352440
Miêu tả
Mô tả vật lý:184 л. ил.
Tóm tắt:For_staff_use

Những quyển sách tương tự