Исследование влияния некоторых фактров на получение и применение диэлектрических подложек с особо высоким классом чистоты обработки для пленочных микросхем: диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук

Исследование влияния некоторых фактров на получение и применение диэлектрических подложек с особо высоким классом чистоты обработки для пленочных микросхем: диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук

Bibliographic Details
Main Author:	Шкаруппо Т. П. Татьяна Петровна
Corporate Author:	Новосибирский институт инженеров геодезии, аэрофотосъемки и картографии
Other Authors:	Сас Р. И. Раиса Ивановна (научный руководитель)
Summary:	For_staff_use
Language:	Russian
Published:	Новосибирск, [Б. и.], 1973
Subjects:	Химические вещества,чистые > Получение пленочные микросхемы диэлектрические подложки изготовление применение материалы испытание стеклокристаллические подложки флюорит термообработка полировка чистота скорость окисляющие реагенты стеклянные подложки кварцевые подложки кварцевые заготовки резка пластины диссертации
Format:	Book
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=352248

Similar Items

Разработка методологии контроля чистоты сапфировых подложек для изготовления гетеротранзисторов и оптоэлектронных приборов на основе нитрида галлия; Химия и химическая технология на рубеже тысячелетий
by: Гурская А. А.
Published: (2004)

Радиационная модификация углеродных наноструктур; Известия вузов. Физика; Т. 54, № 1/3 : Радиационно-термические эффекты и процессы в неорганических материалах
by: Цыганов И. А.
Published: (2011)

Влияние режимов облучения мишеней из гидроксиапатита мощными импульсными ионными пучками на свойства сформированных кальций-фосфатных покрытий; Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования; № 10
by: Блейхер Г. А. Галина Алексеевна
Published: (2013)

Исследование структуры стеклокристаллического покрытия на подложке Al[2]O[3]; Перспективные материалы конструкционного и медицинского назначения
by: Кан Ю. В.
Published: (2018)

Исследование смачиваемости модельных подложек; Перспективы развития фундаментальных наук
by: Чебодаева В. В. Валентина Вадимовна
Published: (2013)

Эпитаксиальные кремниевые слои на диэлектрических подложках и приборы на их основе
by: Папков В. С. Владимир Сергеевич
Published: (Москва, Энергия, 1979)

Исследование смачиваемости модельных подложек; Современные техника и технологии; Т. 3
by: Чебодаева В. В. Валентина Вадимовна
Published: (2013)

Изменение краевого угла капли при растекании по поверхностям стальных подложек; XXXI Сибирский теплофизический семинар
by: Орлова Е. Г. Евгения Георгиевна
Published: (2015)

Разработка процессов химической обработки сращиваемых подложек; Атомная энергия; Т. 95, вып. 5
Published: (2003)

Испарение капель дистиллированной воды на твердой подложке; Интеллектуальные энергосистемы; Т. 1
by: Мингазетинова И. О.
Published: (2013)

Технология керамических подложек из нитрида алюминия; Современные техника и технологии; Т. 2
by: Тюменцев А. А.
Published: (2012)

Импульсная люминесцентная спектрометрия эпитаксиальных слоев GaN, выращенных на подложках AL2O3; Ресурсоэффективным технологиям - энергию и энтузиазм молодых
by: Сычева А. В.
Published: (2014)

Испарение капель водного раствора NaCl на твердой подложке; Интеллектуальные энергосистемы; Т. 1
by: Орлова Е. Г. Евгения Георгиевна
Published: (2013)

Переработка подложек из корундовой керамики с металлизацией из вольфрама и гальваническим никелированием; Химия и химическая технология в XXI веке; Т. 1
by: Жирников И. Д.
Published: (2024)

Нанесение наноструктурированных покрытий карбида титана на медные плоские подложки; Интеллектуальные энергосистемы; Т. 2
by: Даваа А. В.
Published: (2013)

Технология получения керамических подложек из нитрида алюминия методом литья; Перспективы развития фундаментальных наук
Published: (2012)

Устройство для транспортировки подложек в вакуумной установке: полезная модель
by: Кривобоков В. П. Валерий Павлович
Published: ()

Получение корундовых подложек для электроники методом пленочного литья; Химия и химическая технология в XXI веке; Т. 1
by: Грехова М. В.
Published: (2011)

Неразрушающий метод локального измерения диэлектрических потерь подложек интегральных схем на СВЧ; Дефектоскопия; № 8
by: Дувинг В. Г.
Published: (2005)

Численное исследование механического поведения композита "керамическое пористое покрытие - поликристаллическая стальная подложка"; Перспективные материалы с иерархической структурой для новых технологий и надежных конструкций
Published: (2015)

Самоформирование ситемы высокоупорядоченных наноостровков германия при эпитаксии на профилированные кремниевые (111) подложки в условиях электропереноса; Письма в Журнал экспериментальной и теоретической физики; Т. 75, вып. 1-2
by: Закурдаев И. В.
Published: (2002)

Анализ подложек для гигантской спектроскопии комбинационного рассеяния, изготовленных методом электрохимического восстановления; Современные материалы и технологии новых поколений
Published: (2019)

Исследование адгезионных свойств кремнийсодержащего кальций-фосфатного покрытия, осажденного методом ВЧ-магнетронного распыления на нагретую подложку; Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования; № 10
Published: (2013)

Устройство для крепления стержней-подложек в реакторе выращивания поликристаллического кремния
Published: ()

Плазменные покрытия
by: Кудинов В. В. Владимир Владимирович
Published: (Москва, Наука, 1977)

Особенности формирования AIN на подложке сапфира в процессе нитридизации методом молекулярно-лучевой эпитаксии: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук; спец. 01.04.10
by: Милахин Д. С. Денис Сергеевич
Published: (Новосибирск, [Б. и.], 2021)

Изучение смачивания алюминиевой и стальной подложек полиорганосилоксанами в присутствии азотсодержащих поверхностно-активных веществ; Известия Томского политехнического университета [Известия ТПУ]. Инжиниринг георесурсов; Т. 328, № 11
Published: (2017)

Формирование нанопроводов оксида цинка на подложках с развитой поверхностью для газочувствительных слоёв; Химия и химическая технология в XXI веке
by: Иванова А. А.
Published: (2018)

Особенности термического поведения поверхности подложки при газотермическом напылении покрытий; Современные проблемы машиностроения
by: Зенин Б. С. Борис Сергеевич
Published: (2011)

Термический цикл в контакте частица-подложка при газотермическом напылении; Новые материалы. Создание, структура, свойства - 2010
by: Зенин Б. С. Борис Сергеевич
Published: (2010)

Режимы испарения капли воды на медных подложках; Коллоидный журнал; Т. 78, № 3
Published: (2016)

Channeling of 20-35 MeV electrons in Si substrates of multilayer structures; RReps'11. Radiation from Relativistic Electrons in Periodic Structures
by: Kaplin V. V. Valeriy Viktorovich
Published: (2011)

Peculiarities of Modeling of Nanoindentation of Coating-Substrate System; AIP Conference Proceedings; Vol. 1683 : Advanced Materials with Hierarchical Structure for New Technologies and Reliable Structures
by: Eremina G. M. Galina
Published: (2015)

Увеличение адгезии TiN покрытия на твердосплавном инструменте, предварительно обработанном мощным ионным пучком; Физика и химия обработки материалов; № 6
by: Тарбоков В. А. Владислав Александрович
Published: (2003)

Получение высокотеплопроводных материалов из нитрида алюминия; Известия вузов. Физика; Т. 55, № 5-2
Published: (2012)

Структура и свойства системы «оксидное покрытие / (ВТ6) подложка», сформированной вакуумно-дуговым плазменно-ассистированным методом; Перспективные материалы конструкционного и функционального назначения
Published: (2024)

Влияние предварительной обработки поверхности стальных подложек на адгезионную прочность и плотность газотермических покрытий из никельхромового сплава ПГСР-4; Высокие технологии в современной науке и технике
by: Пухова И. В.
Published: (2014)

Разработка метода отделения тонких пленок анодного оксида алюминия от подложки; Перспективы развития фундаментальных наук; Т. 2 : Химия
by: Цзи Синьюй
Published: (2023)

Research of modal substrates wettability; Перспективы развития фундаментальных наук
by: Chebodaeva V. V. Valentina Vadimovna
Published: (2013)

Control of vacuum arc macroparticles by negative repetitively pulsed biasing; Физико-технические проблемы в науке, промышленности и медицине
Published: (2015)