|
|
|
|
| LEADER |
00000nbm0a2200000 4500 |
| 001 |
352248 |
| 005 |
20231102010500.0 |
| 035 |
|
|
|a (RuTPU)RU\TPU\retro\8632
|
| 090 |
|
|
|a 352248
|
| 100 |
|
|
|a 20191204d1973 k y0rusy50 ca
|
| 101 |
0 |
|
|a rus
|
| 102 |
|
|
|a RU
|
| 105 |
|
|
|a a m 001zy
|
| 200 |
1 |
|
|a Исследование влияния некоторых фактров на получение и применение диэлектрических подложек с особо высоким классом чистоты обработки для пленочных микросхем
|e диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук
|f Т. П. Шкаруппо
|g Новосибирский институт инженеров геодезии, аэрофотосъемки и картографии ; науч. рук. Р. И. Сас
|
| 210 |
|
|
|a Новосибирск
|c [Б. и.]
|d 1973
|
| 215 |
|
|
|a 167 л.
|c ил.
|
| 320 |
|
|
|a Библиогр.: с. 151-159 (121 назв.)
|
| 371 |
0 |
|
|a For_staff_use
|
| 606 |
1 |
|
|a Химические вещества,чистые
|x Получение
|2 stltpush
|3 (RuTPU)RU\TPU\subj\31868
|9 54608
|
| 610 |
1 |
|
|a пленочные микросхемы
|
| 610 |
1 |
|
|a диэлектрические подложки
|
| 610 |
1 |
|
|a изготовление
|
| 610 |
1 |
|
|a применение
|
| 610 |
1 |
|
|a материалы
|
| 610 |
1 |
|
|a испытание
|
| 610 |
1 |
|
|a стеклокристаллические подложки
|
| 610 |
1 |
|
|a флюорит
|
| 610 |
1 |
|
|a термообработка
|
| 610 |
1 |
|
|a полировка
|
| 610 |
1 |
|
|a чистота
|
| 610 |
1 |
|
|a скорость
|
| 610 |
1 |
|
|a окисляющие реагенты
|
| 610 |
1 |
|
|a стеклянные подложки
|
| 610 |
1 |
|
|a кварцевые подложки
|
| 610 |
1 |
|
|a кварцевые заготовки
|
| 610 |
1 |
|
|a резка
|
| 610 |
1 |
|
|a пластины
|
| 610 |
1 |
|
|a диссертации
|
| 675 |
|
|
|a 661:54-482(04)
|v 4
|
| 700 |
|
1 |
|a Шкаруппо
|b Т. П.
|g Татьяна Петровна
|
| 702 |
|
1 |
|a Сас
|b Р. И.
|g Раиса Ивановна
|4 727
|
| 712 |
0 |
2 |
|a Новосибирский институт инженеров геодезии, аэрофотосъемки и картографии
|c (1939-1994)
|2 stltpush
|3 (RuTPU)RU\TPU\col\8121
|9 24487
|
| 801 |
|
1 |
|a RU
|b 63413507
|c 20191204
|
| 942 |
|
|
|c BK
|
