Исследование влияния некоторых фактров на получение и применение диэлектрических подложек с особо высоким классом чистоты обработки для пленочных микросхем, диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук

Opis bibliograficzny
1. autor:	Шкаруппо Т. П. Татьяна Петровна
Korporacja:	Новосибирский институт инженеров геодезии, аэрофотосъемки и картографии
Kolejni autorzy:	Сас Р. И. Раиса Ивановна (727)
Streszczenie:	For_staff_use
Język:	rosyjski
Wydane:	Новосибирск, [Б. и.], 1973
Hasła przedmiotowe:	Химические вещества,чистые > Получение пленочные микросхемы диэлектрические подложки изготовление применение материалы испытание стеклокристаллические подложки флюорит термообработка полировка чистота скорость окисляющие реагенты стеклянные подложки кварцевые подложки кварцевые заготовки резка пластины диссертации
Format:	Książka
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=352248

Opis
Opis fizyczny:	167 л. ил.
Streszczenie:	For_staff_use

Podobne zapisy