Высокоскоростное осаждение покрытий на основе соединений хрома и азота с использованием плазмы магнетронных распылительных систем: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук; спец. 1.3.8

Detalles Bibliográficos
Autor Principal:	Грудинин В. А. Владислав Алексеевич
Autor Corporativo:	Томский политехнический университет
Outros autores:	Блейхер Г. А. Галина Алексеевна (научный руководитель)
Summary:	Защита сост. 27.12.2022 г.
Idioma:	ruso
Publicado:	Томск, [Б. и.], 2022
Subjects:	Твердые тела > Распыление Плазменная металлизация плазменное оборудование хромнатриевые покрытия осаждение скорость разряд функционирование горячая мишень магнетронное распыление элементный состав кристаллическая структура авторефераты диссертаций труды учёных ТПУ
Formato:	Libro
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=348250

Títulos similares