Высокоскоростное осаждение покрытий на основе соединений хрома и азота с использованием плазмы магнетронных распылительных систем, автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук

Bibliographic Details
Main Author:	Грудинин В. А. Владислав Алексеевич
Corporate Author:	Национальный исследовательский Томский политехнический университет
Other Authors:	Блейхер Г. А. Галина Алексеевна (727)
Summary:	Защита сост. 27.12.2022 г.
Published:	Томск, [Б. и.], 2022
Subjects:	плазменное оборудование хромнатриевые покрытия осаждение скорость разряд функционирование горячая мишень магнетронное распыление элементный состав кристаллическая структура авторефераты диссертаций труды учёных ТПУ
Format:	Book
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=348250

Similar Items