|
|
|
|
| LEADER |
00000nam0a2200000 4500 |
| 001 |
348250 |
| 005 |
20240209123333.0 |
| 035 |
|
|
|a (RuTPU)RU\TPU\book\380213
|
| 090 |
|
|
|a 348250
|
| 100 |
|
|
|a 20221123d2022 k y0rusy50 ca
|
| 101 |
0 |
|
|a rus
|
| 102 |
|
|
|a RU
|
| 105 |
|
|
|a a dm 001zy
|
| 200 |
1 |
|
|a Высокоскоростное осаждение покрытий на основе соединений хрома и азота с использованием плазмы магнетронных распылительных систем
|e автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук
|e спец. 1.3.8
|f В. А. Грудинин
|g Национальный исследовательский Томский политехнический университет ; науч. рук. Г. А. Блейхер
|
| 210 |
|
|
|a Томск
|c [Б. и.]
|d 2022
|
| 215 |
|
|
|a 22 с.
|c ил.
|
| 300 |
|
|
|a Защита сост. 27.12.2022 г.
|
| 320 |
|
|
|a Библиогр.: с. 21-22 (16 назв.)
|
| 452 |
|
1 |
|0 (RuTPU)RU\TPU\retro\28987
|t Высокоскоростное осаждение покрытий на основе соединений хрома и азота с использованием плазмы магнетронных распылительных систем
|o автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук
|o спец. 1.3.8
|f В. А. Грудинин
|g Национальный исследовательский Томский политехнический университет ; науч. рук. Г. А. Блейхер
|c Томск
|d 2022
|a Грудинин, Владислав Алексеевич
|
| 606 |
1 |
|
|a Твердые тела
|x Распыление
|2 stltpush
|3 (RuTPU)RU\TPU\subj\58678
|9 76443
|
| 606 |
1 |
|
|a Плазменная металлизация
|2 stltpush
|3 (RuTPU)RU\TPU\subj\48948
|9 67764
|
| 610 |
1 |
|
|a плазменное оборудование
|
| 610 |
1 |
|
|a хромнатриевые покрытия
|
| 610 |
1 |
|
|a осаждение
|
| 610 |
1 |
|
|a скорость
|
| 610 |
1 |
|
|a разряд
|
| 610 |
1 |
|
|a функционирование
|
| 610 |
1 |
|
|a горячая мишень
|
| 610 |
1 |
|
|a магнетронное распыление
|
| 610 |
1 |
|
|a элементный состав
|
| 610 |
1 |
|
|a кристаллическая структура
|
| 610 |
1 |
|
|a авторефераты диссертаций
|
| 610 |
1 |
|
|a труды учёных ТПУ
|
| 675 |
|
|
|a 539.2:539.1(04)
|v 4
|
| 675 |
|
|
|a 621.793.74(04)
|v 4
|
| 686 |
|
|
|a 01.04.07
|2 oksvnk
|
| 700 |
|
1 |
|a Грудинин
|b В. А.
|c физик
|c инженер Томского политехнического университета
|f 1995-
|g Владислав Алексеевич
|3 (RuTPU)RU\TPU\pers\42339
|9 21518
|
| 702 |
|
1 |
|a Блейхер
|b Г. А.
|c физик
|c профессор Томского политехнического университета, доктор физико-математических наук
|f 1961-
|g Галина Алексеевна
|3 (RuTPU)RU\TPU\pers\28948
|4 727
|9 13681
|
| 712 |
0 |
2 |
|a Национальный исследовательский Томский политехнический университет
|c (2009- )
|3 (RuTPU)RU\TPU\col\15902
|9 26305
|
| 801 |
|
1 |
|a RU
|b 63413507
|c 20221123
|
| 801 |
|
2 |
|a RU
|b 63413507
|c 20230125
|g RCR
|
| 942 |
|
|
|c BK
|
