Высокоскоростное осаждение покрытий на основе соединений хрома и азота с использованием плазмы магнетронных распылительных систем, автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук

Bibliografski detalji
Glavni autor:	Грудинин В. А. Владислав Алексеевич
Autor kompanije:	Национальный исследовательский Томский политехнический университет
Daljnji autori:	Блейхер Г. А. Галина Алексеевна (727)
Sažetak:	Защита сост. 27.12.2022 г.
Izdano:	Томск, [Б. и.], 2022
Teme:	плазменное оборудование хромнатриевые покрытия осаждение скорость разряд функционирование горячая мишень магнетронное распыление элементный состав кристаллическая структура авторефераты диссертаций труды учёных ТПУ
Format:	Knjiga
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=348250

Opis
Opis fizičkog objekta:	22 с. ил.
Sažetak:	Защита сост. 27.12.2022 г.

Slični predmeti