Закономерности формирования пленок оксинитридов титана методом магнетронного распыления, их структурные особенности и свойства: диссертация на соискание учёной степени кандидата физико-математических наук; спец. 01.04.07

التفاصيل البيبلوغرافية
المؤلف الرئيسي: Сунь Чжилэй
مؤلفون مشاركون: Национальный исследовательский Томский политехнический университет Инженерная школа ядерных технологий Лаборатория плазменных гибридных систем, Национальный исследовательский Томский политехнический университет Исследовательская школа физики высокоэнергетических процессов
مؤلفون آخرون: Пичугин В. Ф. Владимир Федорович (научный руководитель)
الملخص:Заглавие с титульного экрана
Электронная версия печатной публикации
Защита сост. 16.12.2020 г.
اللغة:الروسية
منشور في: Томск, 2020
الموضوعات:
الوصول للمادة أونلاين:http://earchive.tpu.ru/handle/11683/63284
التنسيق: الكتروني كتاب
KOHA link:https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=345238

مواد مشابهة