Закономерности формирования пленок оксинитридов титана методом магнетронного распыления, их структурные особенности и свойства: диссертация на соискание учёной степени кандидата физико-математических наук; спец. 01.04.07

Закономерности формирования пленок оксинитридов титана методом магнетронного распыления, их структурные особенности и свойства: диссертация на соискание учёной степени кандидата физико-математических наук; спец. 01.04.07

Библиографические подробности
Главный автор:	Сунь Чжилэй
Корпоративные авторы:	Национальный исследовательский Томский политехнический университет Инженерная школа ядерных технологий Лаборатория плазменных гибридных систем, Национальный исследовательский Томский политехнический университет Исследовательская школа физики высокоэнергетических процессов
Другие авторы:	Пичугин В. Ф. Владимир Федорович (научный руководитель)
Примечания:	Заглавие с титульного экрана Электронная версия печатной публикации Защита сост. 16.12.2020 г.
Язык:	русский
Опубликовано:	Томск, 2020
Предметы:	Пленки тонкие > Получение Пленки тонкие > Структура электронный ресурс труды учёных ТПУ диссертации закономерности формирование оксинитриды титана магнетронное распыление структурные особенности тонкие пленки оксиды титана биомедицинское применение осаждение плазма кристаллические структуры преломление фазовый состав шероховатости отжиг молекулярный состав смачивание спектроскопия термическая обработка фотокаталитическая активность
Online-ссылка:	http://earchive.tpu.ru/handle/11683/63284
Формат:	Электронный ресурс Книга
Запись в KOHA:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=345238

Схожие документы

Закономерности формирования пленок оксинитридов титана методом магнетронного распыления, их структурные особенности и свойства: автореферат диссертации на соискание учёной степени кандидата физико-математических наук; спец. 01.04.07
по: Сунь Чжилэй
Опубликовано: (Томск, 2020)

Тонкие пленки неорганических материалов: механизм роста и структура: учебное пособие
по: Иевлев В. М. Валентин Михайлович
Опубликовано: (Воронеж, Изд-во Воронежского гос. ун-та, 2008)

Технология и физико-химические свойства тонкопленочных материалов на основе двойных оксидов кремния и d-металлов: диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук; Спец. 05.17.11
по: Бричкова В. Ю. Виктория Юрьевна
Опубликовано: (Томск, 2011)

Структурно-фазовая однородность субмикронных пленок нитрида титана и способы ее повышения: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук; спец. 01.04.15
по: Хамдохов А. З. Алим Залимович
Опубликовано: (Нальчик, [Б. и.], 2017)

Технология и физико-химические свойства тонкопленочных материалов на основе двойных оксидов кремния и d-металлов: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук; спец. 05.17.11
по: Бричкова В. Ю. Виктория Юрьевна
Опубликовано: (Томск, 2011)

Технология и физико-химические свойства тонкопленочных материалов на основе двойных оксидов кремния и d-металлов: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук; спец.05.17.11
по: Бричкова В. Ю. Виктория Юрьевна
Опубликовано: (Томск, 2011)

Структурные превращения в тонких пленках
по: Иевлев В. М. Валентин Михайлович
Опубликовано: (Москва, Металлургия, 1988)

Фазообразование и кинетика фазовых превращений в тонких пленках А I-B VI
по: Шафизаде Р. Б.
Опубликовано: (Баку, Элм, 1983)

Ультрадисперсные частицы и их ансамбли: сборник научных трудов
Опубликовано: (Киев, Наукова думка, 1982)

Структурные превращения в тонких пленках
по: Иевлев В. М. Валентин Михайлович
Опубликовано: (Москва, Металлургия, 1982)

Структура и прочность слоистых дисперсноупрочненных пленок
по: Ильинский А. И. Александр Иванович
Опубликовано: (Москва, Металлургия, 1986)

Получение тонких пленок распылением полимеров в вакууме
по: Красовский А. М. Анатолий Михайлович
Опубликовано: (Минск, Наука и техника, 1989)

Структура и свойства прозрачных проводящих слоев на основе оксида цинка, полученных методом магнетронного распыления нестехиометричных мишеней: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук; Спец. 01.04.07
по: Ахмедов А. К. Ахмед Кадиевич
Опубликовано: (Нальчик, [Б. и.], 2016)

Наноструктурированные слои и тонкие пленки на основе оксида цинка: диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук; спец. 01.04.07
по: Исмаилов Д. В. Данияр Валерьевич
Опубликовано: (Томск, [Б. и.], 2018)

Наноструктурированные слои и тонкие пленки на основе оксида цинка: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук; спец. 01.04.07
по: Исмаилов Д. В. Данияр Валерьевич
Опубликовано: (Томск, 2018)

Наноструктурированные слои и тонкие пленки на основе оксида цинка: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук; спец. 01.04.07
по: Исмаилов Д. В. Данияр Валерьевич
Опубликовано: (Томск, [Б. и.], 2018)

Исследование пленок азотосодержащего оксида титана осажденных магнетронным распылением; Перспективы развития фундаментальных наук; Т. 1 : Физика
по: Сунь Чжилэй
Опубликовано: (2020)

Рост пленок: учебное пособие
по: Иевлев В. М. Валентин Михайлович
Опубликовано: (Воронеж, [Б. и.], 1982)

Свойства пленок оксида галлия, полученных методом электрохимического окисления пластин GaAs: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук; спец. 1.3.11
по: Петрова Ю. С. Юлианна Сергеевна
Опубликовано: (Томск, 2024)

Физико-механические свойства тонких плёнок оксида титана, полученных методом магнетронного распыления; Перспективы развития фундаментальных наук; Т. 1
по: Морозова Н. С. Наталья Сергеевна
Опубликовано: (2009)

Свойства тонких покрытий оксида титана, полученных методом реактивного магнетронного распыления и перспектива их применения в медицине; Перспективы развития фундаментальных наук; Т. 1
по: Гребнева И. А. Ирина Андреевна
Опубликовано: (2009)

Электропроводность тонких плёнок оксида титана, полученных методом среднечастотного магнетронного распыления; Современные техника и технологии; Т. 2
по: Морозова Н. С. Наталья Сергеевна
Опубликовано: (2009)

Исследование некоторых ионно - плазменных методов получения диэлектрических пленок: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук; спец. 05299
по: Данилина Т. И.
Опубликовано: (Томск, 1970)

Структурные особенности и свойства азотсодержащих тонких плёнок диоксида титана, сформированных методом реактивного магнетронного распыления, для применения в биомедицине: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук; спец. 01.04.07
по: Пустовалова А. А. Алла Александровна
Опубликовано: (Томск, 2017)

Структурные особенности и свойства азотсодержащих тонких плёнок диоксида титана, сформированных методом реактивного магнетронного распыления, для применения в биомедицине: диссертация на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук; спец. 01.04.07
по: Пустовалова А. А. Алла Александровна
Опубликовано: (Томск, 2017)

Thin Films and Multilayers for Electronics: study aid
Опубликовано: (Tomsk, TPU Publishing House, 2009)

Наноструктурированные слои и тонкие пленки на основе оксида цинка: диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук; спец. 01.04.07
по: Исмаилов Д. В. Данияр Валерьевич
Опубликовано: (Томск, 2018)

Structural features of N-containing titanium dioxide thin films deposited by magnetron sputtering; Thin Solid Films; Vol. 627
Опубликовано: (2017)

Оптимизация коэффициента преломления тонких пленок диоксида титана; Ресурсоэффективным технологиям - энергию и энтузиазм молодых
по: Сиделёв Д. В. Дмитрий Владимирович
Опубликовано: (2013)

Электрические и фотоэлектрические характеристики структур на основе пленок оксида галлия: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук; спец. 1.3.11
по: Цымбалов А. В. Александр Вячеславович
Опубликовано: (Томск, 2025)

Исследование зависимости температуры атмосферы реактивного магнетронного разряда от состава газовой смеси, контролируемого оптической эмиссионной спектроскопией; Перспективы развития фундаментальных наук; Т. 1 : Физика
по: Гавриленко А. В.
Опубликовано: (2023)

Осаждение TiN с помощью дуальной магнетронной распылительной системы; Современные техника и технологии; Т. 3
по: Тупикова О. С. Ольга Сергеевна
Опубликовано: (2011)

Тонкие пленки диоксида титана как просветляющий слой для низкоэмисионного покрытия; Перспективы развития фундаментальных наук
по: Сиделёв Д. В. Дмитрий Владимирович
Опубликовано: (2013)

Characterization of nitrogen-containing titanium dioxide thin films by X-ray diffraction and IR spectroscopy techniques; Перспективы развития фундаментальных наук
по: Пустовалова А. А. Алла Александровна
Опубликовано: (2015)

Технологические особенности дуальной МРС при реактивном осаждении тонких пленок диоксида титана; Ресурсоэффективным технологиям - энергию и энтузиазм молодых
по: Сиделёв Д. В. Дмитрий Владимирович
Опубликовано: (2012)

Исследование фазового состава тонких пленок диоксида титана, полученных среднечастотным дуальным магнетронным распылением; Перспективы развития фундаментальных наук
по: Сиделёв Д. В. Дмитрий Владимирович
Опубликовано: (2012)

Deposition of barrier layers of titanium nitride using dual magnetron; Известия вузов. Физика; V. 58, № 9-3
по: Yuriev Yu. N. Yuri Nikolaevich
Опубликовано: (2015)

Структурные особенности и свойства азотсодержащих тонких плёнок диоксида титана, сформированных методом реактивного магнетронного распыления, для применения в биомедицине: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук; спец. 01.04.07
по: Пустовалова А. А. Алла Александровна
Опубликовано: (Томск, [Б. и.], 2017)

Магнетронные распылительные системы
по: Данилин Б. С. Борис Степанович
Опубликовано: (Москва, Радио и связь, 1982)

Механизм образования и субструктура конденсированных пленок
по: Палатник Л. С. Лев Самойлович
Опубликовано: (Москва, Наука, 1972)