Закономерности формирования пленок оксинитридов титана методом магнетронного распыления, их структурные особенности и свойства: диссертация на соискание учёной степени кандидата физико-математических наук; спец. 01.04.07

Закономерности формирования пленок оксинитридов титана методом магнетронного распыления, их структурные особенности и свойства: диссертация на соискание учёной степени кандидата физико-математических наук; спец. 01.04.07

Bibliografske podrobnosti
Glavni avtor:	Сунь Чжилэй
Corporate Authors:	Национальный исследовательский Томский политехнический университет Инженерная школа ядерных технологий Лаборатория плазменных гибридных систем, Национальный исследовательский Томский политехнический университет Исследовательская школа физики высокоэнергетических процессов
Drugi avtorji:	Пичугин В. Ф. Владимир Федорович (научный руководитель)
Izvleček:	Заглавие с титульного экрана Электронная версия печатной публикации Защита сост. 16.12.2020 г.
Jezik:	ruščina
Izdano:	Томск, 2020
Teme:	Пленки тонкие > Получение Пленки тонкие > Структура электронный ресурс труды учёных ТПУ диссертации закономерности формирование оксинитриды титана магнетронное распыление структурные особенности тонкие пленки оксиды титана биомедицинское применение осаждение плазма кристаллические структуры преломление фазовый состав шероховатости отжиг молекулярный состав смачивание спектроскопия термическая обработка фотокаталитическая активность
Online dostop:	http://earchive.tpu.ru/handle/11683/63284
Format:	Elektronski Knjiga
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=345238

Podobne knjige/članki

Закономерности формирования пленок оксинитридов титана методом магнетронного распыления, их структурные особенности и свойства: автореферат диссертации на соискание учёной степени кандидата физико-математических наук; спец. 01.04.07
od: Сунь Чжилэй
Izdano: (Томск, 2020)

Тонкие пленки неорганических материалов: механизм роста и структура: учебное пособие
od: Иевлев В. М. Валентин Михайлович
Izdano: (Воронеж, Изд-во Воронежского гос. ун-та, 2008)

Технология и физико-химические свойства тонкопленочных материалов на основе двойных оксидов кремния и d-металлов: диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук; Спец. 05.17.11
od: Бричкова В. Ю. Виктория Юрьевна
Izdano: (Томск, 2011)

Структурно-фазовая однородность субмикронных пленок нитрида титана и способы ее повышения: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук; спец. 01.04.15
od: Хамдохов А. З. Алим Залимович
Izdano: (Нальчик, [Б. и.], 2017)

Технология и физико-химические свойства тонкопленочных материалов на основе двойных оксидов кремния и d-металлов: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук; спец. 05.17.11
od: Бричкова В. Ю. Виктория Юрьевна
Izdano: (Томск, 2011)

Технология и физико-химические свойства тонкопленочных материалов на основе двойных оксидов кремния и d-металлов: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук; спец.05.17.11
od: Бричкова В. Ю. Виктория Юрьевна
Izdano: (Томск, 2011)

Структурные превращения в тонких пленках
od: Иевлев В. М. Валентин Михайлович
Izdano: (Москва, Металлургия, 1988)

Структурные превращения в тонких пленках
od: Иевлев В. М. Валентин Михайлович
Izdano: (Москва, Металлургия, 1982)

Фазообразование и кинетика фазовых превращений в тонких пленках А I-B VI
od: Шафизаде Р. Б.
Izdano: (Баку, Элм, 1983)

Ультрадисперсные частицы и их ансамбли: сборник научных трудов
Izdano: (Киев, Наукова думка, 1982)

Структура и прочность слоистых дисперсноупрочненных пленок
od: Ильинский А. И. Александр Иванович
Izdano: (Москва, Металлургия, 1986)

Получение тонких пленок распылением полимеров в вакууме
od: Красовский А. М. Анатолий Михайлович
Izdano: (Минск, Наука и техника, 1989)

Структура и свойства прозрачных проводящих слоев на основе оксида цинка, полученных методом магнетронного распыления нестехиометричных мишеней: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук; Спец. 01.04.07
od: Ахмедов А. К. Ахмед Кадиевич
Izdano: (Нальчик, [Б. и.], 2016)

Наноструктурированные слои и тонкие пленки на основе оксида цинка: диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук; спец. 01.04.07
od: Исмаилов Д. В. Данияр Валерьевич
Izdano: (Томск, [Б. и.], 2018)

Исследование пленок азотосодержащего оксида титана осажденных магнетронным распылением; Перспективы развития фундаментальных наук; Т. 1 : Физика
od: Сунь Чжилэй
Izdano: (2020)

Наноструктурированные слои и тонкие пленки на основе оксида цинка: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук; спец. 01.04.07
od: Исмаилов Д. В. Данияр Валерьевич
Izdano: (Томск, 2018)

Наноструктурированные слои и тонкие пленки на основе оксида цинка: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук; спец. 01.04.07
od: Исмаилов Д. В. Данияр Валерьевич
Izdano: (Томск, [Б. и.], 2018)

Физико-механические свойства тонких плёнок оксида титана, полученных методом магнетронного распыления; Перспективы развития фундаментальных наук; Т. 1
od: Морозова Н. С. Наталья Сергеевна
Izdano: (2009)

Свойства пленок оксида галлия, полученных методом электрохимического окисления пластин GaAs: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук; спец. 1.3.11
od: Петрова Ю. С. Юлианна Сергеевна
Izdano: (Томск, 2024)

Электропроводность тонких плёнок оксида титана, полученных методом среднечастотного магнетронного распыления; Современные техника и технологии; Т. 2
od: Морозова Н. С. Наталья Сергеевна
Izdano: (2009)

Свойства тонких покрытий оксида титана, полученных методом реактивного магнетронного распыления и перспектива их применения в медицине; Перспективы развития фундаментальных наук; Т. 1
od: Гребнева И. А. Ирина Андреевна
Izdano: (2009)

Рост пленок: учебное пособие
od: Иевлев В. М. Валентин Михайлович
Izdano: (Воронеж, [Б. и.], 1982)

Структурные особенности и свойства азотсодержащих тонких плёнок диоксида титана, сформированных методом реактивного магнетронного распыления, для применения в биомедицине: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук; спец. 01.04.07
od: Пустовалова А. А. Алла Александровна
Izdano: (Томск, 2017)

Исследование некоторых ионно - плазменных методов получения диэлектрических пленок: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук; спец. 05299
od: Данилина Т. И.
Izdano: (Томск, 1970)

Структурные особенности и свойства азотсодержащих тонких плёнок диоксида титана, сформированных методом реактивного магнетронного распыления, для применения в биомедицине: диссертация на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук; спец. 01.04.07
od: Пустовалова А. А. Алла Александровна
Izdano: (Томск, 2017)

Structural features of N-containing titanium dioxide thin films deposited by magnetron sputtering; Thin Solid Films; Vol. 627
Izdano: (2017)

Оптимизация коэффициента преломления тонких пленок диоксида титана; Ресурсоэффективным технологиям - энергию и энтузиазм молодых
od: Сиделёв Д. В. Дмитрий Владимирович
Izdano: (2013)

Thin Films and Multilayers for Electronics: study aid
Izdano: (Tomsk, TPU Publishing House, 2009)

Электрические и фотоэлектрические характеристики структур на основе пленок оксида галлия: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук; спец. 1.3.11
od: Цымбалов А. В. Александр Вячеславович
Izdano: (Томск, 2025)

Исследование зависимости температуры атмосферы реактивного магнетронного разряда от состава газовой смеси, контролируемого оптической эмиссионной спектроскопией; Перспективы развития фундаментальных наук; Т. 1 : Физика
od: Гавриленко А. В.
Izdano: (2023)

Наноструктурированные слои и тонкие пленки на основе оксида цинка: диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук; спец. 01.04.07
od: Исмаилов Д. В. Данияр Валерьевич
Izdano: (Томск, 2018)

Осаждение TiN с помощью дуальной магнетронной распылительной системы; Современные техника и технологии; Т. 3
od: Тупикова О. С. Ольга Сергеевна
Izdano: (2011)

Characterization of nitrogen-containing titanium dioxide thin films by X-ray diffraction and IR spectroscopy techniques; Перспективы развития фундаментальных наук
od: Пустовалова А. А. Алла Александровна
Izdano: (2015)

Тонкие пленки диоксида титана как просветляющий слой для низкоэмисионного покрытия; Перспективы развития фундаментальных наук
od: Сиделёв Д. В. Дмитрий Владимирович
Izdano: (2013)

Технологические особенности дуальной МРС при реактивном осаждении тонких пленок диоксида титана; Ресурсоэффективным технологиям - энергию и энтузиазм молодых
od: Сиделёв Д. В. Дмитрий Владимирович
Izdano: (2012)

Исследование фазового состава тонких пленок диоксида титана, полученных среднечастотным дуальным магнетронным распылением; Перспективы развития фундаментальных наук
od: Сиделёв Д. В. Дмитрий Владимирович
Izdano: (2012)

Deposition of barrier layers of titanium nitride using dual magnetron; Известия вузов. Физика; V. 58, № 9-3
od: Yuriev Yu. N. Yuri Nikolaevich
Izdano: (2015)

Структурные особенности и свойства азотсодержащих тонких плёнок диоксида титана, сформированных методом реактивного магнетронного распыления, для применения в биомедицине: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук; спец. 01.04.07
od: Пустовалова А. А. Алла Александровна
Izdano: (Томск, [Б. и.], 2017)

Структура пленок, напыляемых в магнитном поле путем магнетронного распыления; Изотопы: технологии, материалы и применение
od: Загузин И. Ю.
Izdano: (2018)

Поверхностные свойства и исследование in vitro пленок на основе оксида и оксинитрида титана; Перспективы развития фундаментальных наук
od: Пустовалова А. А. Алла Александровна
Izdano: (2013)