Закономерности формирования пленок оксинитридов титана методом магнетронного распыления, их структурные особенности и свойства: диссертация на соискание учёной степени кандидата физико-математических наук; спец. 01.04.07
| المؤلف الرئيسي: | Сунь Чжилэй |
|---|---|
| مؤلفون مشاركون: | Национальный исследовательский Томский политехнический университет Инженерная школа ядерных технологий Лаборатория плазменных гибридных систем, Национальный исследовательский Томский политехнический университет Исследовательская школа физики высокоэнергетических процессов |
| مؤلفون آخرون: | Пичугин В. Ф. Владимир Федорович (научный руководитель) |
| الملخص: | Заглавие с титульного экрана Электронная версия печатной публикации Защита сост. 16.12.2020 г. |
| اللغة: | الروسية |
| منشور في: |
Томск, 2020
|
| الموضوعات: | |
| الوصول للمادة أونلاين: | http://earchive.tpu.ru/handle/11683/63284 |
| التنسيق: | الكتروني كتاب |
| KOHA link: | https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=345238 |
مواد مشابهة
Закономерности формирования пленок оксинитридов титана методом магнетронного распыления, их структурные особенности и свойства: автореферат диссертации на соискание учёной степени кандидата физико-математических наук; спец. 01.04.07
حسب: Сунь Чжилэй
منشور في: (Томск, 2020)
حسب: Сунь Чжилэй
منشور في: (Томск, 2020)
Тонкие пленки неорганических материалов: механизм роста и структура: учебное пособие
حسب: Иевлев В. М. Валентин Михайлович
منشور في: (Воронеж, Изд-во Воронежского гос. ун-та, 2008)
حسب: Иевлев В. М. Валентин Михайлович
منشور في: (Воронеж, Изд-во Воронежского гос. ун-та, 2008)
Технология и физико-химические свойства тонкопленочных материалов на основе двойных оксидов кремния и d-металлов: диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук; Спец. 05.17.11
حسب: Бричкова В. Ю. Виктория Юрьевна
منشور في: (Томск, 2011)
حسب: Бричкова В. Ю. Виктория Юрьевна
منشور في: (Томск, 2011)
Структурно-фазовая однородность субмикронных пленок нитрида титана и способы ее повышения: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук; спец. 01.04.15
حسب: Хамдохов А. З. Алим Залимович
منشور في: (Нальчик, [Б. и.], 2017)
حسب: Хамдохов А. З. Алим Залимович
منشور في: (Нальчик, [Б. и.], 2017)
Технология и физико-химические свойства тонкопленочных материалов на основе двойных оксидов кремния и d-металлов: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук; спец. 05.17.11
حسب: Бричкова В. Ю. Виктория Юрьевна
منشور في: (Томск, 2011)
حسب: Бричкова В. Ю. Виктория Юрьевна
منشور في: (Томск, 2011)
Технология и физико-химические свойства тонкопленочных материалов на основе двойных оксидов кремния и d-металлов: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук; спец.05.17.11
حسب: Бричкова В. Ю. Виктория Юрьевна
منشور في: (Томск, 2011)
حسب: Бричкова В. Ю. Виктория Юрьевна
منشور في: (Томск, 2011)
Структурные превращения в тонких пленках
حسب: Иевлев В. М. Валентин Михайлович
منشور في: (Москва, Металлургия, 1988)
حسب: Иевлев В. М. Валентин Михайлович
منشور في: (Москва, Металлургия, 1988)
Структурные превращения в тонких пленках
حسب: Иевлев В. М. Валентин Михайлович
منشور في: (Москва, Металлургия, 1982)
حسب: Иевлев В. М. Валентин Михайлович
منشور في: (Москва, Металлургия, 1982)
Фазообразование и кинетика фазовых превращений в тонких пленках А I-B VI
حسب: Шафизаде Р. Б.
منشور في: (Баку, Элм, 1983)
حسب: Шафизаде Р. Б.
منشور في: (Баку, Элм, 1983)
Ультрадисперсные частицы и их ансамбли: сборник научных трудов
منشور في: (Киев, Наукова думка, 1982)
منشور في: (Киев, Наукова думка, 1982)
Структура и прочность слоистых дисперсноупрочненных пленок
حسب: Ильинский А. И. Александр Иванович
منشور في: (Москва, Металлургия, 1986)
حسب: Ильинский А. И. Александр Иванович
منشور في: (Москва, Металлургия, 1986)
Получение тонких пленок распылением полимеров в вакууме
حسب: Красовский А. М. Анатолий Михайлович
منشور في: (Минск, Наука и техника, 1989)
حسب: Красовский А. М. Анатолий Михайлович
منشور في: (Минск, Наука и техника, 1989)
Структура и свойства прозрачных проводящих слоев на основе оксида цинка, полученных методом магнетронного распыления нестехиометричных мишеней: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук; Спец. 01.04.07
حسب: Ахмедов А. К. Ахмед Кадиевич
منشور في: (Нальчик, [Б. и.], 2016)
حسب: Ахмедов А. К. Ахмед Кадиевич
منشور في: (Нальчик, [Б. и.], 2016)
Наноструктурированные слои и тонкие пленки на основе оксида цинка: диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук; спец. 01.04.07
حسب: Исмаилов Д. В. Данияр Валерьевич
منشور في: (Томск, [Б. и.], 2018)
حسب: Исмаилов Д. В. Данияр Валерьевич
منشور في: (Томск, [Б. и.], 2018)
Исследование пленок азотосодержащего оксида титана осажденных магнетронным распылением; Перспективы развития фундаментальных наук; Т. 1 : Физика
حسب: Сунь Чжилэй
منشور في: (2020)
حسب: Сунь Чжилэй
منشور في: (2020)
Наноструктурированные слои и тонкие пленки на основе оксида цинка: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук; спец. 01.04.07
حسب: Исмаилов Д. В. Данияр Валерьевич
منشور في: (Томск, 2018)
حسب: Исмаилов Д. В. Данияр Валерьевич
منشور في: (Томск, 2018)
Наноструктурированные слои и тонкие пленки на основе оксида цинка: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук; спец. 01.04.07
حسب: Исмаилов Д. В. Данияр Валерьевич
منشور في: (Томск, [Б. и.], 2018)
حسب: Исмаилов Д. В. Данияр Валерьевич
منشور في: (Томск, [Б. и.], 2018)
Физико-механические свойства тонких плёнок оксида титана, полученных методом магнетронного распыления; Перспективы развития фундаментальных наук; Т. 1
حسب: Морозова Н. С. Наталья Сергеевна
منشور في: (2009)
حسب: Морозова Н. С. Наталья Сергеевна
منشور في: (2009)
Свойства пленок оксида галлия, полученных методом электрохимического окисления пластин GaAs: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук; спец. 1.3.11
حسب: Петрова Ю. С. Юлианна Сергеевна
منشور في: (Томск, 2024)
حسب: Петрова Ю. С. Юлианна Сергеевна
منشور في: (Томск, 2024)
Электропроводность тонких плёнок оксида титана, полученных методом среднечастотного магнетронного распыления; Современные техника и технологии; Т. 2
حسب: Морозова Н. С. Наталья Сергеевна
منشور في: (2009)
حسب: Морозова Н. С. Наталья Сергеевна
منشور في: (2009)
Свойства тонких покрытий оксида титана, полученных методом реактивного магнетронного распыления и перспектива их применения в медицине; Перспективы развития фундаментальных наук; Т. 1
حسب: Гребнева И. А. Ирина Андреевна
منشور في: (2009)
حسب: Гребнева И. А. Ирина Андреевна
منشور في: (2009)
Рост пленок: учебное пособие
حسب: Иевлев В. М. Валентин Михайлович
منشور في: (Воронеж, [Б. и.], 1982)
حسب: Иевлев В. М. Валентин Михайлович
منشور في: (Воронеж, [Б. и.], 1982)
Структурные особенности и свойства азотсодержащих тонких плёнок диоксида титана, сформированных методом реактивного магнетронного распыления, для применения в биомедицине: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук; спец. 01.04.07
حسب: Пустовалова А. А. Алла Александровна
منشور في: (Томск, 2017)
حسب: Пустовалова А. А. Алла Александровна
منشور في: (Томск, 2017)
Исследование некоторых ионно - плазменных методов получения диэлектрических пленок: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук; спец. 05299
حسب: Данилина Т. И.
منشور في: (Томск, 1970)
حسب: Данилина Т. И.
منشور في: (Томск, 1970)
Структурные особенности и свойства азотсодержащих тонких плёнок диоксида титана, сформированных методом реактивного магнетронного распыления, для применения в биомедицине: диссертация на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук; спец. 01.04.07
حسب: Пустовалова А. А. Алла Александровна
منشور في: (Томск, 2017)
حسب: Пустовалова А. А. Алла Александровна
منشور في: (Томск, 2017)
Structural features of N-containing titanium dioxide thin films deposited by magnetron sputtering; Thin Solid Films; Vol. 627
منشور في: (2017)
منشور في: (2017)
Оптимизация коэффициента преломления тонких пленок диоксида титана; Ресурсоэффективным технологиям - энергию и энтузиазм молодых
حسب: Сиделёв Д. В. Дмитрий Владимирович
منشور في: (2013)
حسب: Сиделёв Д. В. Дмитрий Владимирович
منشور في: (2013)
Thin Films and Multilayers for Electronics: study aid
منشور في: (Tomsk, TPU Publishing House, 2009)
منشور في: (Tomsk, TPU Publishing House, 2009)
Электрические и фотоэлектрические характеристики структур на основе пленок оксида галлия: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук; спец. 1.3.11
حسب: Цымбалов А. В. Александр Вячеславович
منشور في: (Томск, 2025)
حسب: Цымбалов А. В. Александр Вячеславович
منشور في: (Томск, 2025)
Исследование зависимости температуры атмосферы реактивного магнетронного разряда от состава газовой смеси, контролируемого оптической эмиссионной спектроскопией; Перспективы развития фундаментальных наук; Т. 1 : Физика
حسب: Гавриленко А. В.
منشور في: (2023)
حسب: Гавриленко А. В.
منشور في: (2023)
Наноструктурированные слои и тонкие пленки на основе оксида цинка: диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук; спец. 01.04.07
حسب: Исмаилов Д. В. Данияр Валерьевич
منشور في: (Томск, 2018)
حسب: Исмаилов Д. В. Данияр Валерьевич
منشور في: (Томск, 2018)
Осаждение TiN с помощью дуальной магнетронной распылительной системы; Современные техника и технологии; Т. 3
حسب: Тупикова О. С. Ольга Сергеевна
منشور في: (2011)
حسب: Тупикова О. С. Ольга Сергеевна
منشور في: (2011)
Characterization of nitrogen-containing titanium dioxide thin films by X-ray diffraction and IR spectroscopy techniques; Перспективы развития фундаментальных наук
حسب: Пустовалова А. А. Алла Александровна
منشور في: (2015)
حسب: Пустовалова А. А. Алла Александровна
منشور في: (2015)
Тонкие пленки диоксида титана как просветляющий слой для низкоэмисионного покрытия; Перспективы развития фундаментальных наук
حسب: Сиделёв Д. В. Дмитрий Владимирович
منشور في: (2013)
حسب: Сиделёв Д. В. Дмитрий Владимирович
منشور في: (2013)
Технологические особенности дуальной МРС при реактивном осаждении тонких пленок диоксида титана; Ресурсоэффективным технологиям - энергию и энтузиазм молодых
حسب: Сиделёв Д. В. Дмитрий Владимирович
منشور في: (2012)
حسب: Сиделёв Д. В. Дмитрий Владимирович
منشور في: (2012)
Исследование фазового состава тонких пленок диоксида титана, полученных среднечастотным дуальным магнетронным распылением; Перспективы развития фундаментальных наук
حسب: Сиделёв Д. В. Дмитрий Владимирович
منشور في: (2012)
حسب: Сиделёв Д. В. Дмитрий Владимирович
منشور في: (2012)
Deposition of barrier layers of titanium nitride using dual magnetron; Известия вузов. Физика; V. 58, № 9-3
حسب: Yuriev Yu. N. Yuri Nikolaevich
منشور في: (2015)
حسب: Yuriev Yu. N. Yuri Nikolaevich
منشور في: (2015)
Структурные особенности и свойства азотсодержащих тонких плёнок диоксида титана, сформированных методом реактивного магнетронного распыления, для применения в биомедицине: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук; спец. 01.04.07
حسب: Пустовалова А. А. Алла Александровна
منشور في: (Томск, [Б. и.], 2017)
حسب: Пустовалова А. А. Алла Александровна
منشور في: (Томск, [Б. и.], 2017)
Структура пленок, напыляемых в магнитном поле путем магнетронного распыления; Изотопы: технологии, материалы и применение
حسب: Загузин И. Ю.
منشور في: (2018)
حسب: Загузин И. Ю.
منشور في: (2018)
Поверхностные свойства и исследование in vitro пленок на основе оксида и оксинитрида титана; Перспективы развития фундаментальных наук
حسب: Пустовалова А. А. Алла Александровна
منشور في: (2013)
حسب: Пустовалова А. А. Алла Александровна
منشور في: (2013)
مواد مشابهة
-
Закономерности формирования пленок оксинитридов титана методом магнетронного распыления, их структурные особенности и свойства: автореферат диссертации на соискание учёной степени кандидата физико-математических наук; спец. 01.04.07
حسب: Сунь Чжилэй
منشور في: (Томск, 2020) -
Тонкие пленки неорганических материалов: механизм роста и структура: учебное пособие
حسب: Иевлев В. М. Валентин Михайлович
منشور في: (Воронеж, Изд-во Воронежского гос. ун-та, 2008) -
Технология и физико-химические свойства тонкопленочных материалов на основе двойных оксидов кремния и d-металлов: диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук; Спец. 05.17.11
حسب: Бричкова В. Ю. Виктория Юрьевна
منشور في: (Томск, 2011) -
Структурно-фазовая однородность субмикронных пленок нитрида титана и способы ее повышения: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук; спец. 01.04.15
حسب: Хамдохов А. З. Алим Залимович
منشور في: (Нальчик, [Б. и.], 2017) -
Технология и физико-химические свойства тонкопленочных материалов на основе двойных оксидов кремния и d-металлов: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук; спец. 05.17.11
حسب: Бричкова В. Ю. Виктория Юрьевна
منشور في: (Томск, 2011)